Het proces van kathodische boogbron-ioncoating is in principe hetzelfde als bij andere coatingtechnologieën, en sommige bewerkingen, zoals het installeren van werkstukken en stofzuigen, worden niet langer herhaald.
1.Bombardementreiniging van werkstukken
Voor het coaten wordt argongas in de coatingkamer gebracht met een vacuüm van 2×10-2Pa.
Schakel de pulsvoorspanningsvoeding in, met een inschakelduur van 20% en een werkstukvoorspanning van 800-1000V.
Wanneer de boogstroom wordt ingeschakeld, wordt een koude veldbooglichtontlading gegenereerd, die een grote hoeveelheid elektronenstroom en titaniumionenstroom uit de boogbron uitzendt, waardoor een plasma met hoge dichtheid wordt gevormd.Het titaniumion versnelt de injectie in het werkstuk onder de negatieve hoge voordruk die op het werkstuk wordt uitgeoefend, waarbij het resterende gas en de verontreinigende stoffen die op het oppervlak van het werkstuk zijn geadsorbeerd, worden gebombardeerd en gesputterd, en het oppervlak van het werkstuk wordt gereinigd en gezuiverd;Tegelijkertijd wordt het chloorgas in de coatingkamer geïoniseerd door elektronen en argonionen versnellen het bombardement op het werkstukoppervlak.
Daarom is het reinigende effect van het bombardement goed.Slechts ongeveer 1 minuut bombardementreiniging kan het werkstuk reinigen, wat "hoofdboogbombardement" wordt genoemd.Als een kleine boogbron wordt gebruikt om het werkstuk te lang te bombarderen en schoon te maken, is de temperatuur van het werkstuk gevoelig voor oververhitting en kan de gereedschapsrand zacht worden vanwege de hoge massa titaniumionen.Bij de algemene productie worden kleine boogbronnen één voor één van boven naar beneden ingeschakeld en heeft elke kleine boogbron een bombardementreinigingstijd van ongeveer 1 minuut.
(1) Coating titanium onderlaag
Om de hechting tussen de film en het substraat te verbeteren, wordt meestal een laag puur titaniumsubstraat gecoat voordat titaniumnitride wordt gecoat.Stel het vacuümniveau in op 5 × 10-2-3 × 10-1 Pa, pas de voorspanning van het werkstuk aan op 400-500 V en pas de inschakelduur van de pulsvoorspanningsvoeding aan op 40% ~ 50%.Nog steeds kleine boogbronnen een voor een ontsteken om ontlading met een koude veldboog te genereren.Door de afname van de negatieve voorspanning van het werkstuk neemt de energie van titaniumionen af.Na het bereiken van het werkstuk is het sputtereffect minder dan het afzettingseffect en wordt een titaniumovergangslaag op het werkstuk gevormd om de hechtkracht tussen de harde filmlaag van titaniumnitride en het substraat te verbeteren.Dit proces is ook het proces van het verwarmen van het werkstuk.Wanneer het doelwit van puur titanium wordt ontladen, is het licht in het plasma azuurblauw.
1.Ammoniated kom harde filmcoating
Stel de vacuümgraad in op 3×10-1-5Pa, pas de voorspanning van het werkstuk aan op 100-200V en pas de inschakelduur van de pulsvoorspanningsvoeding aan op 70% ~ 80%.Nadat stikstof is geïntroduceerd, is titanium een combinatiereactie met het boogontladingsplasma om een harde film van titaniumnitride af te zetten.Op dit punt is het licht van het plasma in de vacuümkamer kersenrood.Als C2H2, O2, enz. worden geïntroduceerd, TiCN, TiO2, enz. filmlagen kunnen worden verkregen.
–Dit artikel is uitgebracht door Guangdong Zhenhua, afabrikant van vacuümcoatingmachines
Posttijd: 01-jun-2023