Deapparatuur voor vacuümcoatenis samengesteld uit vele precieze onderdelen, die zijn gemaakt door middel van vele processen, zoals lassen, slijpen, draaien, schaven, kotteren, frezen enzovoort.Vanwege deze werkzaamheden zal het oppervlak van onderdelen van apparatuur onvermijdelijk worden verontreinigd met bepaalde verontreinigende stoffen zoals vet, olievuil, metaalspaanders, lasvloeimiddel, polijstpasta, zweetvlekken enzovoort.Deze verontreinigende stoffen zijn gemakkelijk te vervluchtigen onder vacuümomstandigheden, waardoor het uiteindelijke vacuüm van de apparatuur wordt beïnvloed.
Bovendien absorberen deze vacuümverontreinigende stoffen van mechanische verwerking een grote hoeveelheid gas in de atmosferische drukomgeving, en in de vacuümtoestand zullen deze eerder geadsorbeerde gassen ook weer vrijkomen, wat een belangrijke factor wordt die het limietvacuüm beperkt.Om deze reden moeten de verontreinigende stoffen worden verwijderd voordat de onderdelen van de vacuümcoatingmachine worden gemonteerd.
Tijdens het gebruik van vacuümapparatuur zullen ook de onderdelen ervan besmet raken.De vervuiling vanuit deze bron wordt echter voornamelijk veroorzaakt door de gebruiksomstandigheden en de vacuümpomp.
1. De verdamping van de gloeidraad van de vacuümmeter onder hoge temperatuuromstandigheden zal leiden tot de vorming van een film op de keramische isolator, die de isolatiesterkte tot op zekere hoogte zal beschadigen en ook een zekere invloed zal hebben op de nauwkeurigheid van zijn meting;
2. Door verdamping bij hoge temperatuur zal zich in vacuüm een metaalfilm vormen op het oppervlak nabij de gloeidraad van het elektronenkanon;
3. Door het sputteren van het werkstuk zal de binnenwand van ionenstraal-etsapparatuur worden verontreinigd door spatten;
4. De binnenwand van de coatingapparatuur voor vacuümverdamping zal worden verontreinigd door het verdampingsdoelmateriaal;
5. Vacuümdroogsysteem wordt vaak gebruikt en het systeem zal worden verontreinigd door de verdampte stoffen;
6. De diffusiepompolie en mechanische pompolie in de vacuümcoatingapparatuur zijn ook een belangrijke bron van vervuiling.Nadat de coatingmachine lange tijd heeft gewerkt, kan zich een oliefilm in de apparatuur vormen.
Kortom, de vacuümreiniging van apparatuur omvat vacuümapparatuur, vacuümsysteem, vacuümprocesproductie en andere aspecten en koppelingen, evenals de vereisten van de vacuümcoatingapparatuur zelf en een speciaal vacuümproces voor de gebruiksomstandigheden.Daarom is vacuümvervuiling een probleem dat de aandacht verdient, omdat deze vervuiling de prestaties van de apparatuur zal beïnvloeden en aandacht moet worden besteed aan regelmatige of te allen tijde reiniging.
Posttijd: 21 februari 2023