Deze serie apparatuur maakt gebruik van magnetrondoelen om coatingmaterialen om te zetten in deeltjes van nanometergrootte, die op het oppervlak van substraten worden afgezet om dunne films te vormen.De opgerolde film wordt in de vacuümkamer geplaatst.Door de elektrisch aangedreven wikkelstructuur ontvangt het ene uiteinde de film en het andere uiteinde de film.Het blijft door het doelgebied gaan en ontvangt de doeldeeltjes om een dichte film te vormen.
kenmerk:
1. Filmvorming bij lage temperatuur.De temperatuur heeft weinig invloed op de film en veroorzaakt geen vervorming.Het is geschikt voor PET-, PI- en andere spoelfilms van basismateriaal.
2. De filmdikte kan worden ontworpen.Dunne of dikke coatings kunnen worden ontworpen en aangebracht door procesaanpassing.
3. Ontwerp met meerdere doellocaties, flexibel proces.De hele machine kan worden uitgerust met acht doelen, die kunnen worden gebruikt als eenvoudige metalen doelen of samengestelde en oxidedoelen.Het kan worden gebruikt om enkellaagse films met een enkele structuur of meerlaagse films met composietstructuur te maken.Het proces is zeer flexibel.
De apparatuur kan elektromagnetische afschermfilm, flexibele printplaatcoating, verschillende diëlektrische films, meerlaagse AR-antireflectiefilm, HR-hoge antireflectiefilm, kleurenfilm, enz. De apparatuur heeft een zeer breed scala aan toepassingen en eenlaagse filmafzetting kan worden voltooid door eenmalige filmafzetting.
De apparatuur kan eenvoudige metalen doelen aannemen, zoals Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, enz., of samengestelde doelen zoals SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, enz.
De apparatuur is klein van formaat, compact qua structuurontwerp, klein vloeroppervlak, laag energieverbruik en flexibel in aanpassing.Het is zeer geschikt voor procesonderzoek en -ontwikkeling of massaproductie in kleine series.