Composiet coatingapparatuur van magnetron sputteren en kathodische multi-arc ionencoating kan afzonderlijk en gelijktijdig werken;kan pure metaalfilm, metaalcompoundfilm of composietfilm worden gedeponeerd en voorbereid;kan een enkele filmlaag en een meerlaagse composietfilm zijn.
Zijn voordelen als volgt:
Het combineert niet alleen de voordelen van verschillende ionencoatings en houdt rekening met de voorbereiding en depositie van dunne film voor verschillende toepassingsgebieden, maar maakt ook de depositie en voorbereiding van meerlaagse monolithische films of meerlaagse composietfilms in hetzelfde vacuüm mogelijk deklaagkamer in één keer.
De toepassingen van gedeponeerde filmlagen worden veel gebruikt, de technologieën zijn er in verschillende vormen, de typische zijn als volgt:
(1) De verbinding van niet-evenwichtsmagnetronsputteren en kathodische ionenplateringstechnologie.
Het apparaat wordt als volgt weergegeven.Het is een samengestelde coatingapparatuur van kolomvormig magnetrondoel en vlakke kathodische boogionencoating, die geschikt is voor zowel gereedschapscoating samengestelde film als decoratieve filmcoating.Voor gereedschapscoating wordt eerst de kathodische boogionencoating gebruikt voor de basislaagcoating en vervolgens wordt het kolommagnetrondoel gebruikt voor de afzetting van nitride en andere filmlagen om een zeer nauwkeurige oppervlaktefilm voor het verwerkingsgereedschap te verkrijgen.
Voor decoratieve coating kunnen decoratieve TiN- en ZrN-films eerst worden afgezet door middel van kathodische boogcoating en vervolgens worden gedoteerd met metaal met behulp van magnetrondoelen, en het dopingeffect is zeer goed.
(2) De samenstelling van tweevlaks magnetron- en kolomkathodeboogionencoatingstechnieken.Het apparaat wordt als volgt weergegeven.Het wordt gebruikt met de geavanceerde dubbele doeltechnologie, wanneer twee zij-aan-zij dubbele doelen zijn gekoppeld aan de middenfrequentievoeding, het overwint niet alleen de doelvergiftiging van DC-sputteren, vuur en andere nadelen;en kan Al203, SiO2-oxidekwaliteitsfilm afzetten, zodat de oxidatieweerstand van de gecoate delen is toegenomen en verbeterd.Kolomvormig multi-arc doel geïnstalleerd in het midden van de vacuümkamer, het doelmateriaal kan Ti en Zr worden gebruikt, niet alleen om de voordelen van een hoge multi-arc dissociatiesnelheid, afzettingssnelheid te behouden, maar kan ook effectief "druppels" verminderen in het proces van afzetting van kleine vlakken met meerdere bogen, kan een lage porositeit van metaalfilms, samengestelde films deponeren en voorbereiden.Als Al en Si worden gebruikt als doelmaterialen voor de dubbele vlakke magnetrondoelen die aan de rand zijn geïnstalleerd, kunnen Al203- of Si0-metaalkeramische films worden afgezet en voorbereid.Bovendien kunnen aan de rand meerdere kleine vlakken van een verdampingsbron met meerdere bogen worden geïnstalleerd en kan het doelmateriaal Cr of Ni zijn, en kunnen metaalfilms en meerlaagse composietfilms worden afgezet en voorbereid.Daarom is deze composietcoatingtechnologie een composietcoatingtechnologie met meerdere toepassingen.
Posttijd: 08-nov-2022