Type | Naam | Beginsel | Werkdrukbereik |
Mechanische pomp | Enkele machine oliekeerring mechanische pomp | Samenpersen en laten leeglopen van gas door machines | 105--101 |
Dubbele mechanische oliekeerringpomp | 105--102 | ||
Moleculaire pomp | 101--108 | ||
Wortels pompen | 103--102 | ||
Stoom injectie pomp | Olie injectie pomp | Het gas wegvoeren met het momentum van de stoomstraal | 101--107 |
Olie diffusie pomp | 101--106 | ||
Kwik diffusiepomp | 101--105 | ||
Droge pomp | Sputterende ionenpomp | Absorptie en verwijdering van gassen door een absorberende film, gevormd door sublimatie of sputteren | 101--108 |
Titanium sublimatiepomp | 101--109 | ||
Adsorptie pomp | Gasverwijdering door fysische adsorptie op oppervlakken met een lage temperatuur | 106--102 | |
Condens pomp | 102--1011 | ||
Condensaat adsorptiepomp | 102--1010 |
Posttijd: 08-nov-2022