Utstyret tar i bruk elektronstrålefordampningsteknologien.Elektroner sendes ut fra katodefilamentet og fokuseres inn i en viss strålestrøm, som akselereres av potensialet mellom katoden og digelen for å smelte og fordampe beleggmaterialet.Den har egenskapene til høy energitetthet og kan fordampe beleggmaterialet med et smeltepunkt på mer enn 3000 ℃.Filmen har høy renhet og høy termisk effektivitet.
Utstyret er utstyrt med elektronstrålefordampningskilde, ionekilde, filmtykkelsesovervåkingssystem, filmtykkelseskorreksjonsstruktur og stabilt paraplyarbeidsstykkerotasjonssystem.Gjennom ionekildeassistert belegg økes filmens kompakthet, brytningsindeksen stabiliseres, og fenomenet med bølgelengdeforskyvning på grunn av fuktighet unngås.Det fullautomatiske overvåkingssystemet for filmtykkelse i sanntid kan sikre repeterbarheten og stabiliteten til prosessen.Den er utstyrt med selvsmeltende funksjon for å redusere avhengigheten av operatørens ferdigheter.
Utstyret kan brukes på forskjellige oksider og metallbeleggsmaterialer, og kan belegges med optiske flerlags presisjonsfilmer, for eksempel AR-film, langbølgepass, kortbølgepass, lysende film, AS / AF-film, IRCUT, fargefilmsystem , gradient filmsystem, etc. Det har vært mye brukt i AR-briller, optiske linser, kameraer, optiske linser, filtre, halvlederindustri, etc.