HFCVD0606

Vakuumbeleggkammeret til det kjemiske dampavsetningsutstyret vedtar en uavhengig dobbeltlags vannkjølingsstruktur, som er effektiv og jevn i kjøling, og har en sikker og stabil struktur.Utstyret er designet med doble dører, flere observasjonsvinduer og flere utvidelsesgrensesnitt, noe som er praktisk for ekstern tilkobling av tilleggsutstyr som infrarød temperaturmåling, spektralanalyse, videoovervåking og termoelement.Det avanserte designkonseptet gjør daglig overhaling og vedlikehold, konfigurasjonsendring og oppgradering av utstyret enkelt og enkelt, og reduserer effektivt bruks- og oppgraderingskostnadene.

Utstyrsfunksjoner:

1.Inflasjonskomponentene til utstyret inkluderer hovedsakelig massestrømningsmåler, magnetventil og gassblandetank, som sikrer nøyaktig kontroll av prosessgassstrømmen, jevn blanding og sikker isolering av forskjellige gasser, og kan velge gasssystemkomponenter for bruk av flytende gasskilde, lette det personlige utvalget av et bredt spekter av flytende karbonkilder, og sikker bruk av syntetiske ledende diamant- og elektrodekilder for flytende bor.
2. Luftutsugsenheten er utstyrt med en stillegående og effektiv roterende vingevakuumpumpe og et turbomolekylært pumpesystem som raskt kan møte bakgrunnsmiljøet med høyt vakuum.Komposittvakuummåleren med motstandsmåler og ioniseringsmåler brukes til vakuummåling, samt det kapasitive filmmålesystemet som kan måle trykket til forskjellige prosessgasser i et bredt område.Avsetningstrykket er helautomatisk kontrollert av proporsjonal reguleringsventil med høy presisjon.
3. Kjølevannskomponenten er utstyrt med flerkanals vanntrykk, strømning, temperaturmåling og automatisk programvareovervåking.Ulike kjølekomponenter er uavhengige av hverandre, noe som er praktisk for rask feildiagnose.Alle grener har uavhengige ventilbrytere, noe som er trygt og effektivt.
4. De elektriske kontrollkomponentene tar i bruk LCD-skjermer i stor størrelse menneske-maskin-grensesnitt og samarbeider med PLS fullautomatisk kontroll for å lette redigering og import av prosessformel.Den grafiske kurven viser visuelt endringene og verdiene til ulike parametere, og utstyrs- og prosessparametrene registreres automatisk og arkiveres for å lette problemsporing og statistisk dataanalyse.
5. Arbeidsstykkestativet er utstyrt med en servomotor for å kontrollere løfting og senking av underlagsbordet.Grafitt- eller rødkobbersubstratbordet kan velges.Temperaturen måles med et termoelement.
6. Stativkomponentene kan utformes som en helhet eller separat i henhold til kundens krav for å møte kundenes spesielle håndteringskrav.
7. Forseglingsplatekomponentene er vakre og elegante.Tetningsplatene i forskjellige funksjonelle modulområder av utstyret kan raskt demonteres eller åpnes og lukkes uavhengig, noe som er veldig praktisk å bruke.

Varmt filament CVD-utstyr er egnet for avsetning av diamantmaterialer, inkludert tynnfilmbelegg, selvbærende tykk film, mikrokrystallinsk og nanokrystallinsk diamant, ledende diamant, etc. Det brukes hovedsakelig til slitasjebestandig beskyttende belegg av hardmetallskjæreverktøy, halvledermaterialer som silisium og silisiumkarbid, varmeavledningsbelegg av enheter, bordopet ledende diamantelektrode, ozondesinfeksjon av elektrolytisk vann eller kloakkbehandling.