Utstyret integrerer magnetronforstøvning og motstandsfordampningsteknologi, og gir en løsning for belegging av en rekke forskjellige underlag.
Det eksperimentelle beleggsutstyret brukes hovedsakelig på universiteter og vitenskapelige forskningsinstitusjoner, og kan oppfylle en rekke eksperimentelle krav.Ulike strukturelle mål er reservert for utstyret, som kan konfigureres fleksibelt for å møte vitenskapelig forskning og utvikling på forskjellige felt.Magnetronsputteringssystem, katodebuesystem, elektronstrålefordampningssystem, motstandsfordampningssystem, CVD, PECVD, ionekilde, forspenningssystem, varmesystem, tredimensjonal armatur, etc. kan velges.Kunder kan velge i henhold til deres ulike behov.
Utstyret har egenskapene til vakkert utseende, kompakt struktur, liten gulvflate, høy grad av automatisering, enkel og fleksibel betjening, stabil ytelse og enkelt vedlikehold.
Utstyret kan påføres plast, rustfritt stål, elektrobelagte maskinvare/plastdeler, glass, keramikk og andre materialer.Enkle metalllag som titan, krom, sølv, kobber, aluminium eller metallsammensatte filmer som TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC kan fremstilles.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |