1) Sylindriske mål har høyere utnyttelsesgrad enn plane mål.I belegningsprosessen, enten det er en roterende magnetisk type eller et sylindrisk sputtermål av roterende rør, passerer alle deler av overflaten til målrøret kontinuerlig gjennom sputterområdet som genereres foran permanentmagneten for å motta katodeforstøvning, og målet kan sputteres etset, og målutnyttelsesgraden er høy.Utnyttelsesgraden for målmaterialer er omtrent 80% ~ 90%.
2) Sylindriske mål vil ikke lett å produsere "målforgiftning".Under belegningsprosessen blir overflaten av målrøret alltid sputteret og etset av ioner, og det er ikke lett å samle tykke oksider og andre isolerende filmer på overflaten, og det er ikke lett å produsere "målforgiftning".
3) Strukturen til det sylindriske sputtermålet av roterende målrør er enkel og enkel å installere.
4) Det sylindriske målrørmaterialet har forskjellige typer.plan mål med metallmål direkte vannkjøling, og noen kan ikke behandles og dannes sylindriske mål, som In2-SnO2 mål, etc. med pulvermateriale for varm isostatisk pressing for å oppnå platelignende mål, fordi størrelsen ikke kan lages stor og sprø, så det er nødvendig å bruke loddemetode og kobberbakplate for å integrere og deretter installere på målbasen.I tillegg til metallrør kan søylemål også sprayes på overflaten av rustfrie stålrør med forskjellige materialer som må belegges, som Si, Cr, etc.
For tiden øker andelen sylindriske mål for belegg i industriell produksjon.Sylindriske mål brukes ikke bare for den vertikale belegningsmaskinen, men brukes også i rull-til-rull-beleggingsmaskinen.De siste årene er de plane tvillingmålene gradvis erstattet av de sylindriske tvillingmålene.
——Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua Technology, aprodusent av optiske belegningsmaskiner.
Innleggstid: 11. mai 2023