CVD-beleggteknologi har følgende egenskaper:
1. Prosessdriften til CVD-utstyr er relativt enkel og fleksibel, og den kan tilberede enkelt- eller komposittfilmer og legeringsfilmer med forskjellige proporsjoner;
2. CVD-belegg har et bredt spekter av bruksområder, og kan brukes til å fremstille forskjellige metall- eller metallfilmbelegg;
3. Høy produksjonseffektivitet på grunn av avsetningshastigheter fra noen få mikron til hundrevis av mikron per minutt;
4. Sammenlignet med PVD-metoden har CVD bedre diffraksjonsytelse og er svært egnet for belegging av underlag med komplekse former, som spor, belagte hull og til og med blindhullstrukturer.Belegget kan belegges til en film med god kompakthet.På grunn av den høye temperaturen under filmdannelsesprosessen og den sterke vedheften på filmsubstratgrensesnittet, er filmlaget veldig fast
5. Skaden forårsaket av stråling er relativt lav og kan integreres med MOS integrerte kretsprosesser.
——Denne artikkelen er publisert av Guangdong Zhenhua, aprodusenten av vakuumbeleggmaskiner
Innleggstid: 29. mars 2023