Den varmetrådbueforsterkede plasmakjemiske dampavsetningsteknologien bruker varmetrådsbuepistolen til å avgi lysbueplasma, forkortet til hot wire arc PECVD-teknologien.Denne teknologien ligner på hot wire arc gun ion beleggteknologien, men forskjellen er at den faste filmen oppnådd ved hot wire arc gun ion belegg bruker lysbue-elektronstrømmen som sendes ut av hot wire arc pistolen til å varme og fordampe metallet i digelen, mens den varme wire lysbue lys PECVD mates med reaksjonsgasser, slik som CH4 og H2, som brukes til å avsette diamantfilmer.Ved å stole på lysbueutladningsstrømmen med høy tetthet som sendes ut av den varme wire-buepistolen, blir de reaktive gassionene begeistret for å oppnå forskjellige aktive partikler, inkludert gassioner, atomioner, aktive grupper og så videre.
I den varme ledningsbue-PECVD-enheten er fortsatt to elektromagnetiske spoler installert utenfor belegningsrommet, noe som får elektronstrømmen med høy tetthet til å rotere under bevegelsen mot anoden, noe som øker sannsynligheten for kollisjon og ionisering mellom elektronstrømmen og reaksjonsgassen .Den elektromagnetiske spolen kan også konvergere inn i en buesøyle for å øke plasmatettheten til hele avsetningskammeret.I bueplasma er tettheten til disse aktive partiklene høy, noe som gjør det lettere å avsette diamantfilmer og andre filmlag på arbeidsstykket.
——Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua Technology, aprodusent av optiske belegningsmaskiner.
Innleggstid: mai-05-2023