1. Termisk CVD-teknologi
Harde belegg er for det meste metallkeramiske belegg (TiN, etc.), som dannes ved reaksjon av metall i belegget og reaktiv gassifisering.Til å begynne med ble den termiske CVD-teknologien brukt til å gi aktiveringsenergien til kombinasjonsreaksjonen ved hjelp av termisk energi ved en høy temperatur på 1000 ℃.Denne temperaturen er kun egnet for avsetning av TiN og andre harde belegg på hardmetallverktøy.Så langt er det fortsatt en viktig teknologi å avsette TiN-Al20 komposittbelegg på verktøyhoder av hardmetall.
2. Hul katode-ion-belegg og varmtråd-bue-ion-belegg
På 1980-tallet ble hul katode-ionbelegg og varmtrådbue-ionbelegg brukt til å avsette belagte skjæreverktøy.Begge disse ionebeleggsteknologiene er lysbueutladnings-ionbeleggsteknologier, med en metallioniseringshastighet på opptil 20%~40%.
3. Katodebue-ionbelegg
Fremveksten av katodisk lysbue-ion-belegg har ført til utviklingen av teknologien for å avsette harde belegg på støpeformer.Ioniseringshastigheten til katodisk lysbue-ionbelegg er 60%~90%, noe som lar et stort antall metallioner og reaksjonsgassioner nå overflaten av arbeidsstykket og fortsatt opprettholde høy aktivitet, noe som resulterer i reaksjonsavsetning og dannelse av harde belegg som f.eks. Tinn.For tiden brukes katodisk lysbue-ionbeleggsteknologi hovedsakelig til å avsette harde belegg på former.
Katodebuekilden er en faststofffordampningskilde uten et fast smeltet basseng, og lysbuekildeposisjonen kan plasseres vilkårlig, noe som forbedrer plassutnyttelsesgraden til belegningsrommet og øker ovnens lastekapasitet.Formene til katodebuekilder inkluderer små sirkulære katodebuekilder, søyleformede buekilder og rektangulære flate storbuekilder.Ulike komponenter i småbuekilder, søylebuekilder og store buekilder kan ordnes separat for å avsette flerlagsfilmer og nanoflerlagsfilmer.I mellomtiden, på grunn av den høye metallioniseringshastigheten til katodisk lysbue-ionbelegg, kan metallioner absorbere flere reaksjonsgasser, noe som resulterer i et bredt prosessområde og enkel operasjon for å oppnå utmerkede harde belegg.Imidlertid er det grove dråper i mikrostrukturen til belegglaget oppnådd ved katodisk lysbue-ionbelegg.I løpet av de siste årene har mange nye teknologier dukket opp for å foredle strukturen til filmlaget, noe som har forbedret kvaliteten på lysbue-ionbeleggsfilmen.
——Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua Technology, aprodusent av optiske belegningsmaskiner.
Innleggstid: 28. april 2023