Plasma direkte polymerisasjonsprosess
Prosessen med plasmapolymerisering er relativt enkel for både internt elektrodepolymerisasjonsutstyr og eksternt elektrodepolymerisasjonsutstyr, men parametervalg er viktigere i plasmapolymerisasjon, fordi parametere har større innvirkning på strukturen og ytelsen til polymerfilmer under plasmapolymerisering.
Driftstrinnene for direkte plasmapolymerisering er som følger:
(1) Støvsuging
Bakgrunnsvakuumet ved polymerisering under vakuumforhold bør pumpes til 1,3×10-1Pa.For polymerisasjonsreaksjoner som krever spesielle krav til kontroll av oksygen- eller nitrogeninnhold, er bakgrunnsvakuumkravet enda høyere.
(2) Ladereaksjonsmonomer eller blandet gass av bæregass og monomer
Vakuumgraden er 13-130Pa.For plasmapolymerisering som krever arbeid, skal passende strømningskontrollmodus og strømningshastighet velges, vanligvis 10,100 ml/min.I plasma blir monomermolekyler ionisert og dissosiert ved bombardement av energiske partikler, noe som resulterer i aktive partikler som ioner og aktive gener.De aktive partiklene aktivert av plasma kan gjennomgå plasmapolymerisering ved grenseflaten mellom gassfase og fast fase.Monomeren er kilden til forløperen for plasmapolymerisasjon, og inngående reaksjonsgass og monomer skal ha en viss renhet.
(3) Valg av eksitasjonsstrømforsyning
Plasma kan genereres ved å bruke DC, høyfrekvente, RF eller mikrobølgestrømkilder for å gi et plasmamiljø for polymerisering.Valget av strømforsyning bestemmes basert på kravene til strukturen og ytelsen til polymeren.
(4) Valg av utladningsmodus
For polymerkrav kan plasmapolymerisering velge to utladningsmoduser: kontinuerlig utladning eller pulsutladning.
(5) Valg av utslippsparametere
Når du utfører plasmapolymerisasjon, må utladningsparametere vurderes fra plasmaparametere, polymeregenskaper og strukturkrav.Størrelsen på den tilførte kraften under polymerisasjonen bestemmes av volumet til vakuumkammeret, elektrodestørrelse, monomerstrømningshastighet og struktur, polymerisasjonshastighet og polymerstruktur og ytelse.For eksempel, hvis reaksjonskammervolumet er 1L og RF-plasmapolymerisering er vedtatt, vil utladningseffekten være i området 10~30W.Under slike forhold kan plasmaet som genereres aggregere for å danne en tynn film på overflaten av arbeidsstykket.Veksthastigheten til plasmapolymerisasjonsfilm varierer med strømforsyning, monomertype og strømningshastighet og prosessforhold.Vanligvis er veksthastigheten 100nm/min ~ 1um/min.
(6) Parametermåling i plasmapolymerisasjon
Plasmaparametrene og prosessparametrene som skal måles i plasmapolymerisering inkluderer: utladningsspenning, utladningsstrøm, utladningsfrekvens, elektrontemperatur, tetthet, type reaksjonsgruppe og konsentrasjon, etc.
——Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua Technology, aprodusent av optiske belegningsmaskiner.
Innleggstid: mai-05-2023