Prosessen med katodisk lysbuekilde ionebelegg er i utgangspunktet den samme som andre beleggsteknologier, og noen operasjoner som installasjon av arbeidsstykker og støvsuging gjentas ikke lenger.
1. Bombarderingsrengjøring av arbeidsstykker
Før belegning føres argongass inn i belegningskammeret med et vakuum på 2×10-2Pa.
Slå på pulsforspenningsstrømforsyningen, med en driftssyklus på 20 % og en arbeidsstykkeforspenning på 800-1000V.
Når lysbuestrømmen slås på, genereres en lysutladning i kaldt felt, som sender ut en stor mengde elektronstrøm og titanionstrøm fra lysbuekilden, og danner et plasma med høy tetthet.Titanionet akselererer injeksjonen i arbeidsstykket under det negative høye forspenningstrykket som påføres arbeidsstykket, bombarderer og sputterer gjenværende gass og forurensninger adsorbert på overflaten av arbeidsstykket, og renser og renser overflaten av arbeidsstykket;Samtidig ioniseres klorgassen i belegningskammeret av elektroner, og argonioner akselererer bombardementet av arbeidsstykkets overflate.
Derfor er bombardementrenseeffekten god.Bare ca. 1 minutt med bombardementrengjøring kan rense arbeidsstykket, som kalles "hovedbuebombardement".På grunn av den høye massen av titanioner, hvis en liten lysbuekilde brukes til å bombardere og rense arbeidsstykket for lenge, er temperaturen på arbeidsstykket utsatt for overoppheting, og verktøykanten kan bli myk.I generell produksjon skrus små lysbuekilder på én etter én fra topp til bunn, og hver liten lysbuekilde har en bombardementrensetid på ca. 1 minutt.
（1） Belegg titanbunnsjikt
For å forbedre adhesjonen mellom filmen og substratet, belegges vanligvis et lag med rent titansubstrat før belegging av titannitrid.Juster vakuumnivået til 5×10-2-3×10-1Pa, juster arbeidsstykkets forspenning til 400-500V, og juster driftssyklusen til pulsforspenningsstrømforsyningen til 40%~50%.Fortsatt tenner små lysbuekilder én etter én for å generere lysbueutladning i kaldt felt.På grunn av reduksjonen i den negative forspenningen til arbeidsstykket, reduseres energien til titanioner.Etter å ha nådd arbeidsstykket, er sputtereffekten mindre enn avsetningseffekten, og et titanovergangslag dannes på arbeidsstykket for å forbedre bindingskraften mellom titannitrid-hardfilmlaget og underlaget.Denne prosessen er også prosessen med å varme opp arbeidsstykket.Når det rene titanmålet utlades, er lyset i plasmaet asurblått.
1. Ammoniert bolle hardfilmbelegg
Juster vakuumgraden til 3×10-1-5Pa, juster arbeidsstykkets forspenning til 100-200V, og juster arbeidssyklusen til pulsforspenningsstrømforsyningen til 70% ~ 80%.Etter at nitrogen er introdusert, er titan en kombinasjonsreaksjon med lysbueutladningsplasmaet for å avsette hard film av titannitrid.På dette tidspunktet er lyset fra plasmaet i vakuumkammeret kirsebærrødt.Hvis C2H2, O2, etc. introduseres, TiCN, TiO2, etc. filmlag kan oppnås.
–Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua, aprodusenten av vakuumbeleggmaskiner
Innleggstid: Jun-01-2023