Devakuumbeleggutstyrer sammensatt av mange presise deler, som er laget gjennom mange prosesser, som sveising, sliping, dreiing, høvling, boring, fresing og så videre.På grunn av disse arbeidene vil overflaten til utstyrsdeler uunngåelig bli forurenset med noen forurensninger som fett, oljesmuss, metallspon, sveisefluss, poleringspasta, svettemerker og så videre.Disse forurensningene er enkle å fordampe under vakuumforhold, og påvirker dermed det endelige vakuumet til utstyret.
I tillegg absorberer disse vakuumforurensningene fra mekanisk prosess en stor mengde gass i atmosfæretrykkmiljøet, og i vakuumtilstand vil disse tidligere adsorberte gassene også frigjøres igjen, og blir en viktig faktor som begrenser grensevakuumet.Av denne grunn må forurensningene fjernes før delene til vakuumbeleggmaskinen monteres.
Under bruk av vakuumutstyr vil dets komponenter også bli forurenset.Imidlertid er forurensningen fra denne kilden hovedsakelig forårsaket av bruksforholdene og vakuumpumpen.
1. Fordampningen av glødetråden til vakuummåleren under høye temperaturforhold vil føre til dannelse av en film på den keramiske isolatoren, noe som vil skade isolasjonsstyrken til en viss grad, og også ha en viss innvirkning på nøyaktigheten av dens mål;
2. På grunn av høytemperaturfordampning vil det dannes en metallfilm på overflaten nær filamentet til elektronkanonen i vakuum;
3. På grunn av sputtering av arbeidsstykket vil den indre veggen til ionestråle-etseutstyr bli forurenset av sprut;
4. Den indre veggen til vakuumfordampningsbeleggsutstyret vil bli forurenset av fordampningsmålmaterialet;
5. Vakuumtørkesystem brukes ofte, og systemet vil bli forurenset av de fordampede stoffene;
6. Diffusjonspumpeoljen og mekanisk pumpeolje i vakuumbelegningsutstyret er også en viktig kilde til forurensning.Etter at malingsmaskinen har jobbet lenge, kan det dannes en oljefilm inne i utstyret.
For å oppsummere involverer vakuumsanering av utstyr vakuumutstyr, vakuumsystem, vakuumprosessproduksjon og andre aspekter og koblinger, samt kravene til selve vakuumbeleggsutstyret og spesiell vakuumprosess for bruksforholdene.Derfor er vakuumforurensning et problem som er verdt oppmerksomhet, fordi disse forurensningen vil påvirke ytelsen til utstyret, og oppmerksomhet bør rettes mot regelmessig eller når som helst rengjøring.
Innleggstid: 21. februar 2023