Vakuumbeleggingsprosessen har strenge krav til påføringsmiljøet.For den konvensjonelle vakuumprosessen er hovedkravene til vakuumsanering: det er ingen akkumulert forurensningskilde på delene eller overflaten av utstyret i vakuumet, overflaten av vakuumkammeret er glatt og fri for mykt vev, porer og hjørnerom , så sveisen i vakuummaskinen vil ikke påvirke vakuumet, og høyvakuummaskinen skal ikke bruke olje som smøremiddel.Det oljefrie ultrahøyvakuumsystemet skal unngå påvirkning av oljedamp på renheten, arbeidsytelsen eller overflatekarakteristikkene til arbeidsmediet.Metallsystemet med ultrahøyt vakuum bruker ofte 1Cr18Ni9Ti som strukturmateriale.Laboratoriet eller verkstedet hvor vakuumbeleggmaskinen skal holdes ren og sanitær.
I prosessen med vakuumbelegg er overflaterengjøringsbehandlingen svært viktig.I utgangspunktet, før alle substrater lastes inn i beleggvakuumkammeret, må de gå gjennom forpletteringsrengjøringsprosessen for å oppnå avfetting, dekontaminering og dehydrering av arbeidsstykket.
De viktigste kildene til overflateforurensning av belagte deler er: støv, svette, fett, poleringspasta, olje, smøreolje og andre stoffer vil bli overholdt under prosessering, overføring, pakking og andre prosesser;Gass adsorbert og absorbert på overflaten av utstyrsdeler;Oksydfilmen dannet på overflaten av delene av belegningsmaskinen i våt luft.For forurensning fra disse kildene kan de fleste fjernes ved avfetting eller kjemisk rengjøring.
Ikke oppbevar rengjorte arbeidsstykker i det atmosfæriske miljøet.For å redusere støvforurensning og rengjøre oppbevaring av arbeidsstykker, bruk ofte rengjøringsskap eller lukkede beholdere for å oppbevare arbeidsstykket.Glasssubstratet må lagres i en nyoksidert aluminiumsbeholder, noe som kan redusere adsorpsjonen av hydrokarbondamp.Fordi nylig oksiderte aluminiumsbeholdere fortrinnsvis vil adsorbere hydrokarboner.Overflater som er følsomme for vanndamp eller svært ustabile, lagres vanligvis i en vakuumtørkeovn.
De grunnleggende kravene til vakuumbeleggingsprosessen på miljøet inkluderer hovedsakelig: høy renhet i vakuumrommet, støvfritt i belegningsrommet, etc. I noen områder er luftfuktigheten relativt høy, så før plettering, trenger du ikke bare å rengjøre komponentene i underlaget og vakuumkammeret, men må også gjøre bake- og avgassingsarbeidet.I tillegg, for å forhindre at olje kommer inn i vakuumkammeret, er det også nødvendig å være oppmerksom på oljeretur- og oljeblokkeringstiltakene til drivstoffdiffusjonspumpen.
Innleggstid: 18. februar 2023