DevakuumbeleggMaskinprosessen er delt inn i: vakuumfordampningsbelegg, vakuumforstøvningsbelegg og vakuumionbelegg.
1, Vakuumfordampningsbelegg
Under vakuum tilstand, gjør materialet fordampet, slik som metall, metallegering, etc. deretter avsette dem på substratoverflaten, fordampningsbeleggmetoden er ofte bruk motstandsoppvarming, og deretter elektronstrålebombardement av beleggmaterialet, gjør dem fordampet til gassfase og deretter avsatt på substratoverflaten, historisk sett er vakuumdampavsetning den tidligere teknologien som ble brukt i PVD-metoden.
2, Sputtering belegg
Gassen utsettes for en glødeutladning under (Ar)-fylte vakuumforhold. I dette øyeblikk ionerer argon (Ar) atomene til nitrogenioner (Ar), Ionene akselereres av kraften fra det elektriske feltet, og bombarderer katodemålet som er laget av beleggmaterialet, vil målet sputteres ut og avsettes på substratoverflaten. Hendende ioner i sputterbelegget, vanligvis oppnådd ved glødeutladning, er i området 10-2pa til 10Pa，Så de sputterede partiklene er lette å kollidere med gassmolekylene i vakuumkammeret når de flyr mot substratet, noe som gjør bevegelsesretningen tilfeldig og den avsatte filmen lett å være jevn.
3、Ionebelegg
Under vakuumforhold, Under vakuumforhold, brukte en viss plasmaioniseringsteknikk for å delvis ionisere beleggsmaterialets atomer til ioner. Samtidig produseres det mange nøytrale atomer med høy energi, som er negativt forspent på underlaget. På denne måten vil ioner avsettes på underlagets overflate under en dyp negativ forspenning for å danne en tynn film.
Innleggstid: 23. mars 2023