Motstandsfordampningskildebelegg er en grunnleggende vakuumfordampningsbeleggmetode."Fordampning" refererer til en tynnfilmfremstillingsmetode der beleggmaterialet i vakuumkammeret varmes opp og fordampes, slik at materialets atomer eller molekyler fordamper og unnslipper fra overflaten, og danner et dampstrømfenomen som faller inn på overflaten av substrat eller substrat, og til slutt kondensert for å danne en solid film.
Den såkalte motstandsfordampningskildebeleggmetoden er å bruke tantal, molybden, wolfram og andre metaller med høyt smeltepunkt for å lage en passende form av fordampningskilden, som er lastet med materialer som skal fordampes, la luften strømme gjennom, direkte varme og fordampe de fordampede materialene, eller legg materialene som skal fordampes inn i alumina, berylliumoksid og andre digler for indirekte oppvarming og fordampning.Dette er motstandsoppvarmingsfordampningsmetoden.
Devakuumfordampningsbeleggmaskinoppvarmet og fordampet av motstandsvarmer har fordelene med enkel struktur, lav pris og pålitelig bruk.Den kan brukes til fordampningsbelegging av materialer med lavt smeltepunkt, spesielt for masseproduksjon med lave krav til beleggkvalitet.Så langt er det fortsatt et stort antall beleggingsprosesser med motstandsoppvarming og fordampning tatt i bruk i produksjonen av aluminiserte speil.
Ulempene med motstandsfordampningskilde fordampningsbeleggmetoden er at den maksimale temperaturen som kan nås ved oppvarming er begrenset, og levetiden til varmeren er også kort.De siste årene, for å forbedre levetiden til motstandsfordampningskilden, har utstyrsfabrikken tatt i bruk det ledende keramiske materialet syntetisert av bornitrid med lang levetid som fordampningskilde.I følge en japansk patentrapport kan den bruke materialer sammensatt av 20% ~ 30% bornitrid og ildfaste materialer som kan smeltes sammen for å lage fordampningskilden (digel), og belegge overflaten med et lag av zirkonium som inneholder 62% ~82%, og resten er zirkonium-silisiumlegeringsmaterialer.
Innleggstid: 22. april 2023