Hva er det tekniske prinsippet for hul katode hardt beleggutstyr?

Ionebelegg betyr at reaktantene eller fordampede materialer avsettes på substratet ved ionebombardement av gassioner eller fordampede materialer mens de fordampede materialene dissosieres eller gass slippes ut i et vakuumkammer.Det tekniske prinsippet for hul katode hardt beleggutstyr er hul katode ion belegg, som er en hul katode utladningsteknologi.

Om prinsippet for utladning av hul katode: Teknikken for avsetning av hul katode utladning bruker en varm katode utladning for å generere en plasmastråle, og katoden er et hult tantalrør.Katoden og hjelpeanoden er nær hverandre, som er de to polene som tenner lysbueutladningen.

Den hule katodeutladningspistolen antennes på to måter.
1, bruken av høyfrekvent elektrisk felt påført katodetantalrøret, slik at katodetantalrøret argongassionisering til argonioner og deretter utløst av katodetantalrøret kontinuerlig bombardert av argonioner, til varmen varmes opp til minimumstemperaturstandard for elektronemisjon og generere plasmaelektronstråle.

2, I hjelpeanode og katode tantalrør mellom påføring av omtrent 300V likespenning, passerer katodetantalrøret fortsatt inn i argongassen, i 1Pa-10Pa argongasstrykk, hjelpeanode og katodetantalrørs glødeutladningsfenomen, genereringen av argonion-bombardement bombarderer konstant katodetantalrøret, inntil 2300K-2400K temperatur, katodetantalrøret avgir et stort antall elektroner, vil bli endret fra "glødeutladning" til "bueutladning", denne gangen er spenningen som lavt som 30V-60V, så lenge katoden og anoden mellom strømforsyningen, kan du generere plasma elektronstråle.

Katodisk belegningsutstyr
1、Forbedre den originale pistolstrukturen, fra den opprinnelige maksimale strømmen på 230A til 280A.
2、Forbedre den originale kjølesystemstrukturen, fra den originale 4℃ isvannsmaskinkjølingen til romtemperatur kjølevannskjøling, og spar strømkostnadene for brukerne.
3, Forbedre den originale mekaniske overføringsstrukturen, endret til magnetisk væskeoverføringsstruktur, høy temperatur vil ikke blokkere den roterende rammen.
4, det effektive belegningsområdet ￠ 650X1100, kan romme 750 X 1250X600 overdimensjonerte dyse- og girprodusenter av ekstra lang broach, med et veldig stort volum.

Den hule katode-ionbeleggsmaskinen brukes hovedsakelig til plettering av verktøy, former, store speilformer, plastformer, hobbingkniver og andre produkter.