Ionebeleggmaskin stammet fra teorien foreslått av DM Mattox på 1960-tallet, og tilsvarende eksperimenter begynte på den tiden;Fram til 1971 publiserte Chambers og andre teknologien for elektronstråleioneplettering;Reactive evaporation plating (ARE)-teknologien ble påpekt i Bunshah-rapporten i 1972, da superharde filmtyper som TiC og TiN ble produsert;Også i 1972 tok Smith og Molley i bruk hulkatodeteknologien i belegningsprosessen.På 1980-tallet hadde ionepletteringen i Kina endelig nådd nivået for industriell anvendelse, og belegningsprosessene som vakuum multi-arc ion plating og bueutladning ioneplettering hadde dukket opp suksessivt.
Hele arbeidsprosessen med vakuumionplettering er som følger: først,pumpevakuumkammeret, og deretterventevakuumtrykket til 4X10 ⁻ ³ Paeller bedre, er det nødvendig å koble til høyspenningsstrømforsyningen og bygge et lavtemperaturplasmaområde med lavspentutladningsgass mellom substratet og fordamperen.Koble substratelektroden til 5000V DC negativ høyspenning for å danne en glødeutladning av katoden.Inerte gassioner genereres nær det negative glødeområdet.De går inn i katodens mørke område og akselereres av det elektriske feltet og bombarderer overflaten av underlaget.Dette er en renseprosess, og gå deretter inn i belegningsprosessen.Gjennom effekten av bombardementoppvarming fordampes noen pletteringsmaterialer.Plasmaområdet kommer inn i protonene, kolliderer med elektroner og inerte gassioner, og en liten del av dem er ionisert. Disse ioniserte ionene med høy energi vil bombardere filmoverflaten og forbedre filmkvaliteten til en viss grad.
Prinsippet for vakuumionplettering er: i vakuumkammeret, ved å bruke gassutslippsfenomenet eller den ioniserte delen av det fordampede materialet, under bombardement av det fordampede materialet ioner eller gassioner, avsette samtidig disse fordampede stoffene eller deres reaktanter på substratet for å få en tynn film.Ionebeleggetmaskinkombinerer vakuumfordampning, plasmateknologi og gassglødutladning, som ikke bare forbedrer filmkvaliteten, men utvider også filmens bruksområde.Fordelene med denne prosessen er sterk diffraksjon, god filmvedheft og forskjellige beleggmaterialer.Prinsippet for ioneplettering ble først foreslått av DM Mattox.Det finnes mange typer ionebelegg.Den vanligste typen er fordampningsoppvarming, inkludert motstandsoppvarming, elektronstråleoppvarming, plasmaelektronstråleoppvarming, høyfrekvent induksjonsoppvarming og andre oppvarmingsmetoder.
Innleggstid: 14. februar 2023