Denne serien med utstyr bruker magnetronmål for å konvertere beleggmaterialer til partikler på nanometerstørrelse, som avsettes på overflaten av underlag for å danne tynne filmer.Den rullede filmen plasseres i vakuumkammeret.Gjennom den elektrisk drevne viklingsstrukturen mottar den ene enden filmen og den andre legger filmen.Den fortsetter å passere gjennom målområdet og mottar målpartiklene for å danne en tett film.
Karakteristisk:
1. Lav temperatur filmdannelse.Temperaturen har liten effekt på filmen og vil ikke gi deformasjon.Den er egnet for PET, PI og andre spolefilmer av basismateriale.
2. Filmtykkelsen kan designes.Tynne eller tykke belegg kan utformes og avsettes ved prosessjustering.
3. Utforming av flere målplasseringer, fleksibel prosess.Hele maskinen kan utstyres med åtte mål, som enten kan brukes som enkle metallmål eller sammensatte og oksidmål.Den kan brukes til å fremstille enkeltlagsfilmer med enkeltstruktur eller flerlagsfilmer med komposittstruktur.Prosessen er veldig fleksibel.
Utstyret kan forberede elektromagnetisk skjermingsfilm, fleksibelt kretskortbelegg, ulike dielektriske filmer, flerlags AR antirefleksjonsfilm, HR høy antirefleksjonsfilm, fargefilm osv. utstyret har et meget bredt spekter av bruksområder, og enkeltlags filmavsetning kan fullføres ved engangsfilmavsetning.
Utstyret kan ta i bruk enkle metallmål som Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., eller sammensatte mål som SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
Utstyret er lite i størrelse, kompakt i strukturdesign, lite i gulvareal, lavt energiforbruk og fleksibelt i justering.Den er veldig egnet for prosessforskning og -utvikling eller masseproduksjon i små partier.