ପ୍ଲାଜ୍ମା ସିଧାସଳଖ ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା |

ପ୍ଲାଜ୍ମା ସିଧାସଳଖ ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା |

ଉଭୟ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ଉପକରଣ ଏବଂ ବାହ୍ୟ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅପେକ୍ଷାକୃତ ସରଳ, କିନ୍ତୁ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ରେ ପାରାମିଟର ଚୟନ ଅଧିକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ, କାରଣ ପ୍ଲାଜମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ସମୟରେ ପଲିମର ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉପରେ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ଅଧିକ ପ୍ରଭାବ ପକାଇଥାଏ |

ସିଧାସଳଖ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ଅପରେସନ୍ ଷ୍ଟେପଗୁଡିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଟେ:

(1) ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ |

ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ର ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନକୁ 1.3 × 10-1Pa କୁ ପମ୍ପ କରାଯିବା ଉଚିତ |ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଯାହା ଅମ୍ଳଜାନ କିମ୍ବା ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ବିଷୟବସ୍ତୁକୁ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବା ପାଇଁ ବିଶେଷ ଆବଶ୍ୟକତା ଆବଶ୍ୟକ କରେ, ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଆବଶ୍ୟକତା ଆହୁରି ଅଧିକ |

()) କ୍ୟାରିଅର ଗ୍ୟାସ ଏବଂ ମୋନୋମର ମିଶ୍ରିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ମୋନୋମର ଚାର୍ଜ କରନ୍ତୁ |

ଖାଲି ଡିଗ୍ରୀ 13-130Pa ଅଟେ |କାର୍ଯ୍ୟ ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ପ୍ରବାହ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ମୋଡ୍ ଏବଂ ପ୍ରବାହ ହାର ଚୟନ କରାଯିବ, ସାଧାରଣତ 10. 10.100mL / ମିନିଟ୍ |ପ୍ଲାଜାମାରେ, ମୋନୋମର ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଆୟନାଇଜଡ୍ ହୋଇ ଶକ୍ତିଶାଳୀ କଣିକାର ବିସ୍ଫୋରଣ ଦ୍ୱାରା ବିଚ୍ଛିନ୍ନ ହୋଇଥାନ୍ତି, ଫଳସ୍ୱରୂପ ସକ୍ରିୟ କଣିକା ଯେପରିକି ଆୟନ ଏବଂ ସକ୍ରିୟ ଜିନ୍ |ପ୍ଲାଜ୍ମା ଦ୍ୱାରା ସକ୍ରିୟ ଥିବା ସକ୍ରିୟ କଣିକା ଗ୍ୟାସ ଚରଣ ଏବଂ କଠିନ ଚରଣର ଇଣ୍ଟରଫେସରେ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ହୋଇପାରେ |ପ୍ଲାଜମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ମୋନୋମର ହେଉଛି ପୂର୍ବ ଉତ୍ସ, ଏବଂ ଇନପୁଟ୍ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ମୋନୋମରର କିଛି ଶୁଦ୍ଧତା ରହିବ |

()) ଉତ୍ତେଜନା ଶକ୍ତି ଯୋଗାଣର ଚୟନ |

ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପରିବେଶ ଯୋଗାଇବା ପାଇଁ ଡିସି, ହାଇ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, ଆରଏଫ୍ କିମ୍ବା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ଶକ୍ତି ଉତ୍ସ ବ୍ୟବହାର କରି ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରାଯାଇପାରେ |ପଲିମର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ଆଧାର କରି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣର ଚୟନ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ |

(4) ଡିସଚାର୍ଜ ମୋଡ୍ ଚୟନ |

ପଲିମର ଆବଶ୍ୟକତା ପାଇଁ, ପ୍ଲାଜମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ଦୁଇଟି ଡିସଚାର୍ଜ ମୋଡ୍ ବାଛିପାରେ: କ୍ରମାଗତ ଡିସଚାର୍ଜ କିମ୍ବା ନାଡ ଡିସଚାର୍ଜ |

(5) ଡିସଚାର୍ଜ ପାରାମିଟରଗୁଡିକର ଚୟନ |

ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ କରିବାବେଳେ, ପ୍ଲାଜା ପାରାମିଟର, ପଲିମର ଗୁଣ ଏବଂ ଗଠନ ଆବଶ୍ୟକତା ଠାରୁ ଡିସଚାର୍ଜ ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ବିଚାର କରାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ |ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ସମୟରେ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ଶକ୍ତିର ପରିମାଣ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର ପରିମାଣ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ଆକାର, ମୋନୋମର ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ଗଠନ, ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ହାର, ଏବଂ ପଲିମର ଗଠନ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ଯଦି ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଭଲ୍ୟୁମ୍ 1L ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ପ୍ଲାଜମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ଗ୍ରହଣ କରାଯାଏ, ତେବେ ଡିସଚାର୍ଜ ଶକ୍ତି 10 ~ 30W ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ରହିବ |ଏହିପରି ପରିସ୍ଥିତିରେ, ଉତ୍ପାଦିତ ପ୍ଲାଜମା ଏକତ୍ର ହୋଇ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ଏକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରିପାରିବ |ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ, ମୋନୋମର ପ୍ରକାର ଏବଂ ପ୍ରବାହ ହାର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅବସ୍ଥା ସହିତ ଭିନ୍ନ ହୋଇଥାଏ |ସାଧାରଣତ ,, ଅଭିବୃଦ୍ଧି ହାର ହେଉଛି 100nm / min ~ 1um / min |

(6) ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ରେ ପାରାମିଟର ମାପ |

ପ୍ଲାଜ୍ମା ପଲିମେରାଇଜେସନ୍ରେ ମାପ କରାଯିବାକୁ ଥିବା ପ୍ଲାଜ୍ମା ପାରାମିଟର ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାରାମିଟରଗୁଡିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ଡିସଚାର୍ଜ ଭୋଲଟେଜ୍, ଡିସଚାର୍ଜ କରେଣ୍ଟ, ଡିସଚାର୍ଜ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ ତାପମାତ୍ରା, ଘନତା, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗୋଷ୍ଠୀ ପ୍ରକାର ଏବଂ ଏକାଗ୍ରତା ଇତ୍ୟାଦି |

—— ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, aଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ ଯନ୍ତ୍ରର ନିର୍ମାତା |.