ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଯନ୍ତ୍ରର ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରବାହ |

1. ବମ୍ବେଡମେଣ୍ଟ ସଫା କରିବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ |

1.1) ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ବ୍ୟବହାର କରେ |ଅର୍ଥାତ୍, ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଚାର୍ଜ କରନ୍ତୁ, ଡିସଚାର୍ଜ ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରାୟ 1000 ଭି, ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଟର୍ନ୍ ଅନ୍ କରିବା ପରେ ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ ବିସ୍ଫୋରଣ ଦ୍ୱାରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସଫା କରାଯାଏ |

)। 1.2) ସ୍ପଟରିଂ କୋଚିଂ ମେସିନ୍ ଗୁଡିକରେ, ଯାହା ଶିଳ୍ପଦ୍ୟୋଗରେ ଉଚ୍ଚ-ଶେଷ ଅଳଙ୍କାର ଉତ୍ପାଦନ କରେ, ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ମିତ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆଇନ୍ ଗୁଡିକ ପ୍ରାୟତ cleaning ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ଏକ ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ ହୋଇଛି, ଏବଂ ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସ ଡିସଚାର୍ଜ ଦ୍ ated ାରା ଉତ୍ପନ୍ନ ଆର୍କ ପ୍ଲାଜାମାରେ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ ଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍କୁ ବିସ୍ଫୋରଣ ଏବଂ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

2. ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଆବରଣ |

ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିବାବେଳେ, ସ୍ପଟରିଂ ପାଇଁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ହେଉଛି ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ |ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ପୁଟର୍ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣର ନକାରାତ୍ମକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ହେଉଛି 400 ~ 500V;ଆର୍ଗନ୍ ଫ୍ଲକ୍ସ ସ୍ଥିର ହୋଇଛି, ଏବଂ କଣ୍ଟ୍ରୋଲ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ହେଉଛି (3 ~ 8) x10 |^-1PAସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ 100 ~ 200V ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ସହିତ ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣର ନକାରାତ୍ମକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ |

ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟାର୍ଗେଟର ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଟର୍ନ୍ ଅନ୍ କରିବା ପରେ, ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ବିଶିଷ୍ଟ ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନଗୁଡିକ ଟାର୍ଗେଟରୁ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ପରମାଣୁକୁ ସ୍ପଟର୍ କରିବା ଲକ୍ଷ୍ୟକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ |

ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ପ୍ରବର୍ତ୍ତିତ ହୁଏ, ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ ପରମାଣୁ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଟାଇଟାନିୟମ ଆୟନ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ ଆୟନରେ ଆୟନାଇଜ୍ ହୁଏ |ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଉଥିବା ନକାରାତ୍ମକ ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଆକର୍ଷଣରେ, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଡିପୋଜିଟ୍ ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରେ |

3. ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାହାର କରନ୍ତୁ |

ପୂର୍ବ ନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ, ସ୍ପୁଟର୍ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଦ୍ as ାରା ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଏବଂ ବାୟୁ ଉତ୍ସ ବନ୍ଦ କରନ୍ତୁ |ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା 120 than ରୁ କମ୍ ହେବା ପରେ, ଆବରଣ ଚାମ୍ବରକୁ ବାୟୁରେ ଭରନ୍ତୁ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାହାର କରନ୍ତୁ |

ଏହି ପ୍ରବନ୍ଧ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକାଶିତ |ଚୁମ୍ବକୀୟ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା |- ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |