କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଉତ୍ସ ଆୟନ ଆବରଣର ପ୍ରକ୍ରିୟା ମ other ଳିକ ଭାବରେ ଅନ୍ୟ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ସହିତ ସମାନ, ଏବଂ କିଛି କାର୍ଯ୍ୟ ଯେପରିକି କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ର ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆଉ ପୁନରାବୃତ୍ତି ହୁଏ ନାହିଁ |
1. କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ବମ୍ବେର୍ଡ ସଫା କରିବା |
ଆବରଣ ପୂର୍ବରୁ, ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ 2 × 10-2Pa ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ସହିତ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ପ୍ରବେଶ କରେ |
20% ର ଏକ ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ର ଏବଂ 800-1000V ର ଏକ ୱାର୍କସିପ୍ ପଦ୍ଧତି ସହିତ ନାଡିର ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ଟର୍ନ୍ ଅନ୍ କରନ୍ତୁ |
ଯେତେବେଳେ ଆର୍ ପାୱାର୍ ଟର୍ନ୍ ଅନ୍ ହୁଏ, ଏକ ଶୀତଳ କ୍ଷେତ୍ର ଆର୍କ ଲାଇଟ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଯାହା ଆର୍ ଉତ୍ସରୁ ବହୁ ପରିମାଣର ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ କରେଣ୍ଟ ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ କରେଣ୍ଟ ନିର୍ଗତ କରେ, ଯାହା ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରେ |ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଉଥିବା ନକାରାତ୍ମକ ଉଚ୍ଚ ଦ୍ୱିପାକ୍ଷିକ ଚାପରେ ଏହାର ଇଞ୍ଜେକ୍ସନକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ, କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ଆବର୍ଜନା ହୋଇଥିବା ଅବଶିଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ପ୍ରଦୂଷକକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରି ସ୍ପଟ୍ କରି, ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକୁ ସଫା ଏବଂ ଶୁଦ୍ଧ କଲା;ସେହି ସମୟରେ, ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା କ୍ଲୋରାଇନ୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଦ୍ ion ାରା ଆୟନାଇଜ୍ ହୁଏ ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରେ |
ତେଣୁ, ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ ପରିଷ୍କାର ପ୍ରଭାବ ଭଲ |କେବଳ 1 ମିନିଟର ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ ସଫା କରିବା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରକୁ ସଫା କରିପାରିବ, ଯାହାକୁ “ମୁଖ୍ୟ ଆର୍କ ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ” କୁହାଯାଏ |ଅଧିକ ପରିମାଣର ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ ହେତୁ, ଯଦି ଏକ ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସକୁ ଅଧିକ ସମୟ ପାଇଁ ବୋମା ପକାଇବା ଏବଂ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ତେବେ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ତାପମାତ୍ରା ଅତ୍ୟଧିକ ଗରମ ହେବାର ସମ୍ଭାବନା ଥାଏ, ଏବଂ ଉପକରଣର ଧାର ନରମ ହୋଇପାରେ |ସାଧାରଣ ଉତ୍ପାଦନରେ, ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସଗୁଡିକ ଉପରରୁ ତଳ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ଟର୍ନ୍ ଅନ୍ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ପ୍ରତ୍ୟେକ ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସରେ ପ୍ରାୟ 1 ମିନିଟର ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ ସମୟ ଥାଏ |
（1 tit ଆବରଣ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ତଳ ସ୍ତର |
ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଥିବା ଆଡିଶିନ୍ରେ ଉନ୍ନତି ଆଣିବା ପାଇଁ, ଶୁଦ୍ଧ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ର ଏକ ସ୍ତର ସାଧାରଣତ tit ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଆବରଣ କରିବା ପୂର୍ବରୁ ଆବୃତ ହୋଇଥାଏ |ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ତରକୁ 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ୍ କରନ୍ତୁ, ୱାର୍କସିପ୍ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ କୁ 400-500V ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ୍ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ନାଡିର ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣର ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ରକୁ 40% ~ 50% ରେ ସଜାଡନ୍ତୁ |ତଥାପି ଶୀତଳ ଆର୍ସିଂ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଛୋଟ ଆର୍କ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକୁ ଗୋଟିଏ ପରେ ଗୋଟିଏ ପ୍ରଜ୍ୱଳିତ କରେ |କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ନକାରାତ୍ମକ ପକ୍ଷପାତ ଭୋଲଟେଜ୍ ହ୍ରାସ ହେତୁ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନର ଶକ୍ତି କମିଯାଏ |କର୍ମକ୍ଷେତ୍ରରେ ପହ After ୍ଚିବା ପରେ, ସ୍ପଟ୍ଟରିଂ ପ୍ରଭାବ ଡିପୋଜୋନ୍ ପ୍ରଭାବଠାରୁ କମ୍ ଅଟେ, ଏବଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ହାର୍ଡ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଏବଂ ସବ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତିକୁ ସୁଦୃ to ଼ କରିବା ପାଇଁ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରରେ ଏକ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟ୍ରାନ୍ସଜେନ୍ସନ ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ |ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ମଧ୍ୟ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରକୁ ଗରମ କରିବାର ପ୍ରକ୍ରିୟା |ଯେତେବେଳେ ଶୁଦ୍ଧ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ହୁଏ, ପ୍ଲାଜାରେ ଥିବା ଆଲୋକ ଆଜୁର୍ ନୀଳ |
1. ଆମ୍ମୋନିଟେଡ୍ ପାତ୍ର ହାର୍ଡ ଫିଲ୍ମ ଆବରଣ |
ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଡିଗ୍ରୀକୁ 3 × 10 ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ୍ କରନ୍ତୁ |-1-5Pa, ୱାର୍କସିପ୍ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ କୁ 100-200V ରେ ଆଡଜଷ୍ଟ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ପଲ୍ସ ଦ୍ as ାରା ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣର ଡ୍ୟୁଟି ଚକ୍ରକୁ 70% ~ 80% କୁ ସଜାଡନ୍ତୁ |ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ପ୍ରଚଳନ ହେବା ପରେ, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ହେଉଛି ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜ ପ୍ଲାଜମା ସହିତ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ହାର୍ଡ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା |ଏହି ସମୟରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ପ୍ଲାଜାର ଆଲୋକ ଚେରି ଲାଲ୍ |ଯଦି C2H2, ଓ2, ଇତ୍ୟାଦି ପରିଚିତ, TiCN, TiO |2, ଇତ୍ୟାଦି ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତରଗୁଡିକ ମିଳିପାରିବ |
- ଏହି ଆର୍ଟିକିଲ୍ ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ ଦ୍ released ାରା ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲା, aଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁନ୍ -01-2023 |