ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ’ଣ?କାର୍ଯ୍ୟ ନୀତି କ’ଣ?

Theଶୂନ୍ୟ ଆବରଣ |ମେସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି: ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ ଆବରଣ |

1, ଶୂନ୍ୟ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ |

ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଅବସ୍ଥାରେ, ପଦାର୍ଥକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କର ， ଯେପରିକି ଧାତୁ, ଧାତୁ ମିଶ୍ରଣ ଇତ୍ୟାଦି ତାପରେ ସେମାନଙ୍କୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କର, ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ପ୍ରାୟତ resistance ପ୍ରତିରୋଧ ଉତ୍ତାପ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଏବଂ ତାପରେ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀର ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ବିସ୍ଫୋରଣ | ଗ୍ୟାସ୍ ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହୋଇଛି, ତାପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରନ୍ତୁ, histor ତିହାସିକ ଭାବରେ, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​ହେଉଛି PVD ପଦ୍ଧତିରେ ବ୍ୟବହୃତ ପୂର୍ବ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା |

2, ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ |

ଗ୍ୟାସ୍ (ଆର୍) ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭ୍ୟାକ୍ଅମ୍ ଅବସ୍ଥାରେ ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ ଏହି ମୁହୂର୍ତ୍ତରେ ଆର୍ଗନ୍ (ଆର୍) ପରମାଣୁ ଆୟନକୁ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ (ଆର୍) ରେ ଆୟନଗୁଡିକ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଶକ୍ତି ଦ୍ୱାରା ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଟାର୍ଗେଟକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ | ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀରେ ନିର୍ମିତ, ଟାର୍ଗେଟ୍ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା ହେବ ସ୍ପଟର୍ ଆବରଣରେ ଘଟୁଥିବା ଆୟନଗୁଡିକ, ସାଧାରଣତ gl ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଦ୍ obtained ାରା ପ୍ରାପ୍ତ ହୁଏ, 10-2pa ରୁ 10Pa ମଧ୍ୟରେ ， ତେଣୁ ସ୍ପଟ୍ଟର୍ କଣିକା ଧକ୍କା ହେବା ସହଜ | ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଆଡକୁ ଉଡ଼ିବାବେଳେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ଗତି ଦିଗକୁ ଅନିୟମିତ ଏବଂ ଜମା ହୋଇଥିବା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରକୁ ସମାନ ହେବା ସହଜ କରିଥାଏ |

3, ଆଇନ୍ ଆବରଣ |

ଶୂନ୍ୟ ଅବସ୍ଥାରେ, ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଅବସ୍ଥାରେ, ଆବରଣ ପଦାର୍ଥ ପରମାଣୁକୁ ଆୟନରେ ଆଂଶିକ ଆୟନାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜମା ଆୟନାଇଜେସନ୍ କ techni ଶଳ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇଥିଲା | ସେହି ସମୟରେ ଅନେକ ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ନିରପେକ୍ଷ ପରମାଣୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୁଏ ， ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ନକାରାତ୍ମକ ଭାବରେ ପକ୍ଷପାତିତ | ଏହି ଉପାୟରେ, ଆୟନ | ଏକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ଏକ ଗଭୀର ନକାରାତ୍ମକ ପକ୍ଷପାତରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଜମା କରାଯାଏ |