ଆଇନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ ମେସିନର ୱାର୍କିଂ ପ୍ରିନ୍ସିପାଲ୍ କ’ଣ?

ଆୟନ ଆବରଣ |ଯନ୍ତ୍ର ୧ ss ୦ ଦଶକରେ ଡିଏମ୍ ମ୍ୟାଟକ୍ସଙ୍କ ଦ୍ proposed ାରା ପ୍ରସ୍ତାବିତ ସିଦ୍ଧାନ୍ତରୁ ଉତ୍ପନ୍ନ ହୋଇଥିଲା ଏବଂ ସେହି ସମୟରେ ଅନୁରୂପ ପରୀକ୍ଷଣ ଆରମ୍ଭ ହୋଇଥିଲା;1971 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଚାମ୍ବର ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂର ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ପ୍ରକାଶ କରିଥିଲେ;1972 ରେ ବନସା ରିପୋର୍ଟରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ବାଷ୍ପୀକରଣ ପ୍ଲେଟିଂ (ARE) ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାକୁ ସୂଚିତ କରାଯାଇଥିଲା, ଯେତେବେଳେ TiC ଏବଂ TiN ପରି ସୁପର-ହାର୍ଡ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରକାର ଉତ୍ପାଦିତ ହେଲା;1972 ମସିହାରେ, ସ୍ମିଥ୍ ଏବଂ ମଲ୍ଲି ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ହୋଲ୍ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଗ୍ରହଣ କରିଥିଲେ |1980 ଦଶକରେ ଚାଇନାରେ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଶେଷରେ ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗ ସ୍ତରରେ ପହଞ୍ଚି ସାରିଥିଲା ​​ଏବଂ ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଏବଂ ଆର୍କ-ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ପରି ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ଦେଖାଗଲା |

ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ କାର୍ଯ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିମ୍ନଲିଖିତ ଅଟେ: ପ୍ରଥମେ,ପମ୍ପଖାଲି କୋଠରୀ, ଏବଂ ତାପରେଅପେକ୍ଷା କର |4X10 ⁻ ³ ପା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଖାଲି ଚାପ |କିମ୍ବା ଭଲ, ହାଇ ଭୋଲଟେଜ୍ ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣକୁ ସଂଯୋଗ କରିବା ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏବଂ ବାଷ୍ପୀକରଣକାରୀ ମଧ୍ୟରେ ନିମ୍ନ ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ଗ୍ୟାସର ଏକ ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ଲାଜମା କ୍ଷେତ୍ର ନିର୍ମାଣ କରିବା ଆବଶ୍ୟକ |କ୍ୟାଥୋଡ୍ର ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ଗଠନ ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ କୁ 5000V DC ନକାରାତ୍ମକ ହାଇ ଭୋଲଟେଜ୍ ସହିତ ସଂଯୋଗ କରନ୍ତୁ |ନକାରାତ୍ମକ ଗ୍ଲୋ ଅଞ୍ଚଳ ନିକଟରେ ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ |ସେମାନେ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଅନ୍ଧାର ଅଞ୍ଚଳରେ ପ୍ରବେଶ କରନ୍ତି ଏବଂ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଦ୍ୱାରା ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୋଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରନ୍ତି |ଏହା ଏକ ସଫେଇ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଏବଂ ତାପରେ ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରବେଶ କର |ବୋମା ବିସ୍ଫୋରଣ ଗରମ ପ୍ରଭାବରେ, କିଛି ପ୍ଲେଟିଂ ସାମଗ୍ରୀ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହୁଏ |ପ୍ଲାଜ୍ମା କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରୋଟନ୍ ଗୁଡିକରେ ପ୍ରବେଶ କରେ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଏବଂ ନିଷ୍କ୍ରିୟ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ ସହିତ ଧକ୍କା ହୁଏ, ଏବଂ ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ ଏକ ଛୋଟ ଅଂଶ ଆୟନାଇଜ୍ ହୁଏ, ଉଚ୍ଚ ଶକ୍ତି ସହିତ ଏହି ଆୟନାଇଜଡ୍ ଆୟନଗୁଡିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପୃଷ୍ଠକୁ ବମ୍ବେ ଏବଂ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ କିଛି ପରିମାଣରେ ଉନ୍ନତ କରିବ |

ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂର ନୀତି ହେଉଛି: ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ, ଗ୍ୟାସ୍ ଡିସଚାର୍ଜ ଘଟଣା କିମ୍ବା ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥର ଆୟନାଇଜଡ୍ ଅଂଶ ବ୍ୟବହାର କରି, ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥ ଆୟନ କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନର ବିସ୍ଫୋରଣରେ, ଏକାସାଙ୍ଗରେ ଏହି ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପଦାର୍ଥ କିମ୍ବା ସେମାନଙ୍କର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା କର | ଏକ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପାଇବା ପାଇଁ |ଆୟନ ଆବରଣ |ଯନ୍ତ୍ରଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ, ପ୍ଲାଜମା ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ଏବଂ ଗ୍ୟାସ୍ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜକୁ ଏକତ୍ର କରିଥାଏ, ଯାହା କେବଳ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୁଣବତ୍ତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିନଥାଏ, ବରଂ ଫିଲ୍ମର ପ୍ରୟୋଗ ପରିସରକୁ ବିସ୍ତାର କରିଥାଏ |ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ଦୃ strong ବିଭାଜନ, ଭଲ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଆଡିଶିନ୍ ଏବଂ ବିଭିନ୍ନ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ |ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂର ନୀତି ପ୍ରଥମେ ଡିଏମ ମ୍ୟାଟକ୍ସ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରସ୍ତାବିତ ହୋଇଥିଲା |ସେଠାରେ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଅଛି |ସବୁଠାରୁ ସାଧାରଣ ପ୍ରକାର ହେଉଛି ବାଷ୍ପୀକରଣ ଗରମ, ପ୍ରତିରୋଧ ଗରମ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ଗରମ, ପ୍ଲାଜମା ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍ ଗରମ, ଉଚ୍ଚ-ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଇନଡକ୍ସନ୍ ଗରମ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଗରମ ପ୍ରଣାଳୀ |