ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି |

ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣର ଯ os ଗିକ ଆବରଣ ଉପକରଣ ପୃଥକ ଏବଂ ଏକକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟ କରିପାରିବ;ଖାଣ୍ଟି ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର, ଧାତୁ ଯ ound ଗିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର କିମ୍ବା ଯ os ଗିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରାଯାଇପାରିବ;ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଗୋଟିଏ ସ୍ତର ଏବଂ ଏକ ମଲ୍ଟି-ଲେୟାର୍ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଫିଲ୍ମ ହୋଇପାରେ |

ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଏହାର ସୁବିଧା:
ଏହା କେବଳ ବିଭିନ୍ନ ଆୟନ ଆବରଣର ସୁବିଧାକୁ ମିଶ୍ରଣ କରେ ନାହିଁ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗର ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷେତ୍ର ପାଇଁ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ପ୍ରସ୍ତୁତି ଏବଂ ସଂରକ୍ଷଣକୁ ଧ୍ୟାନରେ ରଖେ ନାହିଁ, ବରଂ ସମାନ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନରେ ମଲ୍ଟି ଲେୟାର୍ ମୋନୋଲିଥିକ୍ ଫିଲ୍ମ କିମ୍ବା ମଲ୍ଟି ଲେୟାର କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତିକୁ ମଧ୍ୟ ଅନୁମତି ଦିଏ | ଏକ ସମୟରେ ଆବରଣ ଚାମ୍ବର |
ଜମା ହୋଇଥିବା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତରଗୁଡିକର ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ ଏହାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବିଭିନ୍ନ ରୂପରେ ଅଛି, ସାଧାରଣଗୁଡିକ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ:
(1) ସନ୍ତୁଳିତ ନଥିବା ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆୟନ ପ୍ଲେଟିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ଯ ound ଗିକ |
ଏହାର ଡିଭାଇସ୍ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |ଏହା ସ୍ତମ୍ଭ ଚୁମ୍ବକୀୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଏବଂ ପ୍ଲାନାର୍ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣର ଏକ ଯ ound ଗିକ ଆବରଣ ଉପକରଣ, ଯାହା ଉଭୟ ଉପକରଣ ଆବରଣ ଯ ound ଗିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ସାଜସଜ୍ଜା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଆବରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ |ଟୁଲ୍ ଆବରଣ ପାଇଁ, କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣ ପ୍ରଥମେ ବେସ୍ ଲେୟାର ଆବରଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ତାପରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଉପକରଣ ପୃଷ୍ଠଭୂମି ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପାଇବା ପାଇଁ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ସ୍ତରଗୁଡିକ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ସ୍ତମ୍ଭ ଚୁମ୍ବକୀୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ ପାଇଁ, TiN ଏବଂ ZrN ସାଜସଜ୍ଜା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ପ୍ରଥମେ କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ଜମା କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ପରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ ଲକ୍ଷ୍ୟ ବ୍ୟବହାର କରି ଧାତୁ ସହିତ ଡୋପ୍ କରାଯାଇପାରିବ, ଏବଂ ଡୋପିଂ ପ୍ରଭାବ ବହୁତ ଭଲ |

(୨) ଯୁଗ୍ମ ବିମାନ ଚୁମ୍ବକୀୟ ଏବଂ ସ୍ତମ୍ଭ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ ଆୟନ ଆବରଣ କ ques ଶଳର ଯ ound ଗିକ |ଡିଭାଇସ୍ ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |ଏହା ଉନ୍ନତ ଯୁଗ୍ମ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଯେତେବେଳେ ମଧ୍ୟମ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବିଦ୍ୟୁତ୍ ଯୋଗାଣ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ ଦୁଇଟି ପାର୍ଶ୍ୱରେ ଥିବା ଯୁଗ୍ମ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ଏହା କେବଳ ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍, ଅଗ୍ନି ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଅସୁବିଧାକୁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ବିଷାକ୍ତତାକୁ ଦୂର କରେ ନାହିଁ;ଏବଂ Al203, SiO2 ଅକ୍ସାଇଡ୍ ଗୁଣାତ୍ମକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ the ାରା ଆବୃତ ଅଂଶଗୁଡିକର ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ପ୍ରତିରୋଧ ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ଉନ୍ନତ ହୋଇଛି |ଭ୍ୟାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରର କେନ୍ଦ୍ରରେ ସ୍ଥାପିତ ସ୍ତମ୍ଭ ମଲ୍ଟି-ଆର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଟି ଏବଂ ଜ୍ର ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, କେବଳ ଉଚ୍ଚ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ବିଚ୍ଛିନ୍ନତା ହାର, ଜମା ହାରର ସୁବିଧା ବଞ୍ଚାଇବା ପାଇଁ ନୁହେଁ, ବରଂ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ “ବୁନ୍ଦା” କୁ ମଧ୍ୟ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ | ଛୋଟ ବିମାନ ମଲ୍ଟି-ଆର୍କ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର, ଯ ound ଗିକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଏକ ନିମ୍ନ ପୋରୋସିଟି ଜମା ଏବଂ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିପାରିବ |ଯଦି ପେରିଫେରୀରେ ସ୍ଥାପିତ ଟ୍ୱିନ୍ ପ୍ଲାନାର୍ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପାଇଁ ଅଲ ଏବଂ ସି ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ତେବେ Al203 କିମ୍ବା Si0 ଧାତୁ-ସେରାମିକ୍ ଫିଲ୍ମଗୁଡିକ ଜମା କରାଯାଇ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ |ଏଥିସହ, ମଲ୍ଟି-ଆର୍ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଉତ୍ସର ଏକାଧିକ ଛୋଟ ବିମାନ ପେରିଫେରୀରେ ସ୍ଥାପିତ ହୋଇପାରିବ ଏବଂ ଏହାର ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ Cr କିମ୍ବା Ni ହୋଇପାରେ, ଏବଂ ଧାତୁ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଏବଂ ମଲ୍ଟିଲାୟର୍ କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା ହୋଇ ପ୍ରସ୍ତୁତ ହୋଇପାରିବ |ତେଣୁ, ଏହି ମିଶ୍ରିତ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଏକାଧିକ ପ୍ରୟୋଗ ସହିତ ଏକ ମିଶ୍ରିତ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା |