ସାଧାରଣତ C CVD ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ତେଣୁ ଥର୍ମାଲି ଉତ୍ତେଜିତ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (TCVD) କୁହାଯାଏ |ଏହା ସାଧାରଣତ in ଅଜ ic ବିକ ପୂର୍ବସୂତ୍ର ବ୍ୟବହାର କରେ ଏବଂ ହଟ-ୱାଲ୍ ଏବଂ କୋଲ୍ଡ-ୱାଲ୍ ରିଆକ୍ଟରରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରାଯାଏ |ଏହାର ଉତ୍ତାପ ପ୍ରଣାଳୀରେ ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି (ଆରଏଫ୍) ଗରମ, ଇନଫ୍ରାଡ୍ ରେଡିଏସନ୍ ଗରମ, ପ୍ରତିରୋଧ ଗରମ ଇତ୍ୟାଦି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ |
ଗରମ କାନ୍ଥ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା |
ବାସ୍ତବରେ, ହଟ-ୱାଲ୍ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଡିପୋଜିଟେସନ୍ ରିଆକ୍ଟର ହେଉଛି ଏକ ଥର୍ମୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଚୁଲା, ମଧ୍ୟବର୍ତ୍ତୀ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସାଧାରଣତ resist ପ୍ରତିରୋଧକ ଉପାଦାନ ସହିତ ଗରମ ହୁଏ |ଚିପ୍ ଟୁଲ୍ ଆବରଣ ପାଇଁ ଏକ ହଟ-ୱାଲ୍ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ଉତ୍ପାଦନ ସୁବିଧାର ଚିତ୍ର ନିମ୍ନଲିଖିତ ଭାବରେ ଦର୍ଶାଯାଇଛି |ଏହି ହଟ-ୱାଲ୍ ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା TiN, TiC, TiCN ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପତଳା ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରକୁ କୋଟ୍ କରିପାରେ |ରିଆକ୍ଟରକୁ ଯଥେଷ୍ଟ ପରିମାଣରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇପାରିବ ତାପରେ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଉପାଦାନ ଧରିପାରିବେ, ଏବଂ ଅବସ୍ଥାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରାଯାଇପାରିବ |ପିକ୍ 1 ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ଉତ୍ପାଦନର ସିଲିକନ୍ ଡୋପିଂ ପାଇଁ ଏକ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଲେୟାର୍ ଡିଭାଇସ୍ ଦେଖାଏ |ଚୁଲିରେ ଥିବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଏକ ଭୂଲମ୍ବ ଦିଗରେ ରଖାଯାଇ କଣିକା ଦ୍ୱାରା ଜମା ପୃଷ୍ଠର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଲୋଡିଂକୁ ବହୁଗୁଣିତ କରିଥାଏ |ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ହଟ-ୱାଲ୍ ରିଆକ୍ଟରଗୁଡିକ ସାଧାରଣତ low କମ୍ ଚାପରେ ପରିଚାଳିତ ହୋଇଥାଏ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର -08-2022 |