ਉਪਕਰਨ ਲੰਬਕਾਰੀ ਸਾਹਮਣੇ ਦਰਵਾਜ਼ੇ ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਕਲੱਸਟਰ ਲੇਆਉਟ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।ਇਹ ਧਾਤਾਂ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਜੈਵਿਕ ਪਦਾਰਥਾਂ ਲਈ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਸਰੋਤਾਂ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਭਾਫ਼ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਸਿਸਟਮ ਨਾਲ ਲੈਸ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਥਿਰ ਹੈ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਚੰਗੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਹੈ।
GX600 ਕੋਟਿੰਗ ਉਪਕਰਨ ਸਹੀ, ਸਮਾਨ ਅਤੇ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਤੌਰ 'ਤੇ ਜੈਵਿਕ ਰੋਸ਼ਨੀ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਵਾਲੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਜਾਂ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਵਾਸ਼ਪ ਕਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।ਇਸ ਵਿੱਚ ਸਧਾਰਨ ਫਿਲਮ ਨਿਰਮਾਣ, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਉੱਚ ਸੰਖੇਪਤਾ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ.ਪੂਰੀ-ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ ਰੀਅਲ-ਟਾਈਮ ਨਿਗਰਾਨੀ ਸਿਸਟਮ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀ ਦੁਹਰਾਉਣਯੋਗਤਾ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾ ਸਕਦਾ ਹੈ.ਇਹ ਆਪਰੇਟਰ ਦੇ ਹੁਨਰ 'ਤੇ ਨਿਰਭਰਤਾ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਨ ਲਈ ਸਵੈ ਪਿਘਲਣ ਫੰਕਸ਼ਨ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੈ.
ਸਾਜ਼-ਸਾਮਾਨ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ਅਤੇ ਹੋਰ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਮੈਟਲ ਫਿਲਮ, ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਲੇਅਰ ਫਿਲਮ, ਆਈਐਮਡੀ ਫਿਲਮ, ਆਦਿ ਨਾਲ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਇਹ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਉਦਯੋਗ, ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਪਾਵਰ ਡਿਵਾਈਸ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਰੀਅਰ ਪੈਕੇਜਿੰਗ ਸਬਸਟਰੇਟ ਕੋਟਿੰਗ, ਆਦਿ।
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |