ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਿੱਧੀ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਿੱਧੀ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅੰਦਰੂਨੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਉਪਕਰਣ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਉਪਕਰਣ ਦੋਵਾਂ ਲਈ ਮੁਕਾਬਲਤਨ ਸਧਾਰਨ ਹੈ, ਪਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਦੀ ਚੋਣ ਵਧੇਰੇ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਹੈ, ਕਿਉਂਕਿ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਪੌਲੀਮਰ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ 'ਤੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦਾ ਵਧੇਰੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਸਿੱਧੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਕਾਰਵਾਈ ਦੇ ਪੜਾਅ ਹੇਠ ਲਿਖੇ ਅਨੁਸਾਰ ਹਨ:

(1) ਵੈਕਿਊਮਿੰਗ

ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਤਾਂ ਵਿੱਚ ਪੌਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੇ ਬੈਕਗ੍ਰਾਊਂਡ ਵੈਕਿਊਮ ਨੂੰ 1.3×10-1Pa ਤੱਕ ਪੰਪ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।ਪੌਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਵਾਂ ਲਈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਆਕਸੀਜਨ ਜਾਂ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਲੋੜਾਂ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਬੈਕਗ੍ਰਾਉਂਡ ਵੈਕਿਊਮ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋਰ ਵੀ ਵੱਧ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

(2) ਚਾਰਜ ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਮੋਨੋਮਰ ਜਾਂ ਕੈਰੀਅਰ ਗੈਸ ਅਤੇ ਮੋਨੋਮਰ ਦੀ ਮਿਸ਼ਰਤ ਗੈਸ

ਵੈਕਿਊਮ ਡਿਗਰੀ 13-130Pa ਹੈ।ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਕੰਮ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਉਚਿਤ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨਿਯੰਤਰਣ ਮੋਡ ਅਤੇ ਵਹਾਅ ਦਰ ਚੁਣੀ ਜਾਵੇਗੀ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 10.100mL/min.ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ, ਮੋਨੋਮਰ ਅਣੂ ਊਰਜਾਵਾਨ ਕਣਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਦੁਆਰਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਅਤੇ ਵੱਖ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਸਰਗਰਮ ਕਣ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਇਨ ਅਤੇ ਕਿਰਿਆਸ਼ੀਲ ਜੀਨ ਬਣਦੇ ਹਨ।ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੁਆਰਾ ਸਰਗਰਮ ਕੀਤੇ ਕਣ ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਅਤੇ ਠੋਸ ਪੜਾਅ ਦੇ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤੋਂ ਗੁਜ਼ਰ ਸਕਦੇ ਹਨ।ਮੋਨੋਮਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਪੂਰਵਗਾਮੀ ਦਾ ਸਰੋਤ ਹੈ, ਅਤੇ ਇਨਪੁਟ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਅਤੇ ਮੋਨੋਮਰ ਵਿੱਚ ਕੁਝ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਹੋਣੀ ਚਾਹੀਦੀ ਹੈ।

(3) ਉਤਸ਼ਾਹ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਚੋਣ

ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਲਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਨ ਲਈ ਡੀਸੀ, ਉੱਚ-ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ, ਆਰਐਫ, ਜਾਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਵੇਵ ਪਾਵਰ ਸਰੋਤਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੀ ਚੋਣ ਪੌਲੀਮਰ ਦੀ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਕਾਰਗੁਜ਼ਾਰੀ ਲਈ ਲੋੜਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੇ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ.

(4) ਡਿਸਚਾਰਜ ਮੋਡ ਦੀ ਚੋਣ

ਪੌਲੀਮਰ ਲੋੜਾਂ ਲਈ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਮੋਡ ਚੁਣ ਸਕਦਾ ਹੈ: ਨਿਰੰਤਰ ਡਿਸਚਾਰਜ ਜਾਂ ਪਲਸ ਡਿਸਚਾਰਜ।

(5) ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਦੀ ਚੋਣ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਾ ਸੰਚਾਲਨ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ, ਪੌਲੀਮਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਅਤੇ ਬਣਤਰ ਦੀਆਂ ਲੋੜਾਂ ਤੋਂ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਨੂੰ ਵਿਚਾਰਿਆ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।ਪੌਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦੌਰਾਨ ਲਾਗੂ ਕੀਤੀ ਸ਼ਕਤੀ ਦੀ ਤੀਬਰਤਾ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਦੀ ਮਾਤਰਾ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਆਕਾਰ, ਮੋਨੋਮਰ ਵਹਾਅ ਦਰ ਅਤੇ ਬਣਤਰ, ਪੌਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਰ, ਅਤੇ ਪੌਲੀਮਰ ਬਣਤਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਦੁਆਰਾ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜੇਕਰ ਰਿਐਕਸ਼ਨ ਚੈਂਬਰ ਵਾਲੀਅਮ 1L ਹੈ ਅਤੇ RF ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਅਪਣਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਾਵਰ 10~30W ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੋਵੇਗੀ।ਅਜਿਹੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਵਿੱਚ, ਤਿਆਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇਕੱਠੇ ਹੋ ਸਕਦਾ ਹੈ।ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਵਿਕਾਸ ਦਰ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਮੋਨੋਮਰ ਕਿਸਮ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦਰ, ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ ਦੇ ਨਾਲ ਬਦਲਦੀ ਹੈ।ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਵਿਕਾਸ ਦਰ 100nm/min ~ 1um/min ਹੁੰਦੀ ਹੈ।

(6) ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੋਲੀਮਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਪੈਰਾਮੀਟਰ ਮਾਪ

ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪੌਲੀਮੇਰਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਮਾਪਣ ਲਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਮਾਪਦੰਡਾਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਕਰੰਟ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਬਾਰੰਬਾਰਤਾ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਤਾਪਮਾਨ, ਘਣਤਾ, ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਸਮੂਹ ਦੀ ਕਿਸਮ ਅਤੇ ਇਕਾਗਰਤਾ, ਆਦਿ।

——ਇਹ ਲੇਖ ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ ਤਕਨਾਲੋਜੀ, ਏਆਪਟੀਕਲ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਦੇ ਨਿਰਮਾਤਾ.