ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ

1. ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ ਸਬਸਟਰੇਟ

1.1) ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ।ਕਹਿਣ ਦਾ ਭਾਵ ਹੈ, ਆਰਗਨ ਗੈਸ ਨੂੰ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਚਾਰਜ ਕਰੋ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ ਲਗਭਗ 1000V ਹੈ, ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰਡਮੈਂਟ ਦੁਆਰਾ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

1.2) ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਜੋ ਉਦਯੋਗਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੇ ਗਹਿਣੇ ਪੈਦਾ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਸਫਾਈ ਲਈ ਵਰਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਇੱਕ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੈ, ਅਤੇ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਉਤਪੰਨ ਚਾਪ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਟਾਇਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਸਟ੍ਰੀਮ ਨੂੰ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

2. ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ

ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਲਈ ਟੀਚਾ ਸਮੱਗਰੀ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਦਾ ਟੀਚਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।ਟੀਚਾ ਸਮੱਗਰੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨਾਲ ਜੁੜੀ ਹੋਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਟੀਚਾ ਵੋਲਟੇਜ 400 ~ 500V ਹੈ;ਆਰਗਨ ਫਲੈਕਸ ਸਥਿਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੰਟਰੋਲ ਵੈਕਿਊਮ (3~8) x10 ਹੈ^-1ਪੀ.ਏ.ਸਬਸਟਰੇਟ 100~200V ਦੀ ਵੋਲਟੇਜ ਦੇ ਨਾਲ, ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨਾਲ ਜੁੜਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ।

ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਟਾਰਗਿਟ ਦੀ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟੀਚੇ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਟੀਚੇ ਤੋਂ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਸਪਟਰ ਕਰਦੇ ਹਨ।

ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਗੈਸ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨਾਂ ਵਿੱਚ ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤੇ ਗਏ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪੱਖਪਾਤ ਦੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਆਕਰਸ਼ਨ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤੇਜ਼ੀ ਨਾਲ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।

3. ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢੋ

ਪੂਰਵ-ਨਿਰਧਾਰਤ ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਅਤੇ ਏਅਰ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਬੰਦ ਕਰੋ।ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 120 ℃ ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਹਵਾ ਨਾਲ ਭਰੋ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢੋ।

ਇਹ ਲੇਖ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾ- ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ