ਦਵੈਕਿਊਮ ਪਰਤਮਸ਼ੀਨ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਇਸ ਵਿੱਚ ਵੰਡਿਆ ਗਿਆ ਹੈ: ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਕੋਟਿੰਗ, ਵੈਕਿਊਮ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ।
1, ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਰਤ
ਵੈਕਿਊਮ ਸਥਿਤੀ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਭਾਫ਼ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ,ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਧਾਤ, ਧਾਤ ਦੀ ਮਿਸ਼ਰਤ, ਆਦਿ, ਫਿਰ ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰੋ, ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਰਤ ਵਿਧੀ ਅਕਸਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੀਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨ ਬੀਮ ਬੰਬਾਰੀ, ਉਹਨਾਂ ਨੂੰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਗੈਸ ਪੜਾਅ ਵਿੱਚ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ, ਫਿਰ ਘਟਾਓਣਾ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ, ਇਤਿਹਾਸਕ ਤੌਰ 'ਤੇ, ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ PVD ਵਿਧੀ ਵਿੱਚ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਪੁਰਾਣੀ ਤਕਨੀਕ ਹੈ।
2, ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ
ਗੈਸ ਨੂੰ (Ar)-ਭਰੀਆਂ ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਤਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਸਮੇਂ ਆਰਗਨ (Ar) ਪਰਮਾਣੂ ਆਇਨ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨਾਂ (Ar) ਵਿੱਚ ਬਦਲ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਆਇਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਬਲ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਕੈਥੋਡ ਟੀਚੇ ਉੱਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਕੋਟਿੰਗ ਸਮਗਰੀ ਦਾ ਬਣਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ, ਟੀਚੇ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਿਆ ਜਾਵੇਗਾ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ ਸਪਟਰ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਘਟਨਾ ਆਇਨ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, 10-2pa ਤੋਂ 10Pa ਦੀ ਰੇਂਜ ਵਿੱਚ ਹੁੰਦੇ ਹਨ,ਇਸ ਲਈ ਸਪਟਰਡ ਕਣਾਂ ਦਾ ਟਕਰਾਉਣਾ ਆਸਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਵੱਲ ਉੱਡਦੇ ਸਮੇਂ ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਦੇ ਨਾਲ, ਗਤੀ ਦੀ ਦਿਸ਼ਾ ਨੂੰ ਬੇਤਰਤੀਬ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੀ ਫਿਲਮ ਨੂੰ ਇਕਸਾਰ ਹੋਣਾ ਆਸਾਨ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
3, ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ
ਵੈਕਿਊਮ ਹਾਲਤਾਂ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਵੈਕਿਊਮ ਕੰਡੀਸ਼ਨ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਅੰਸ਼ਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਇਨਾਂ ਵਿੱਚ ਆਇਨਾਈਜ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਇੱਕ ਖਾਸ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਤਕਨੀਕ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਉਸੇ ਸਮੇਂ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਨਿਰਪੱਖ ਪਰਮਾਣੂ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ,ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪੱਖਪਾਤੀ ਹੁੰਦੇ ਹਨ। ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ, ਆਇਨ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਡੂੰਘੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਪੱਖਪਾਤ ਦੇ ਅਧੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਮਾਰਚ-23-2023