ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗਮਸ਼ੀਨ 1960 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਵਿੱਚ DM Mattox ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਸਿਧਾਂਤ ਤੋਂ ਉਤਪੰਨ ਹੋਇਆ ਸੀ, ਅਤੇ ਉਸ ਸਮੇਂ ਅਨੁਸਾਰੀ ਪ੍ਰਯੋਗ ਸ਼ੁਰੂ ਹੋਏ ਸਨ;1971 ਤੱਕ, ਚੈਂਬਰਜ਼ ਅਤੇ ਹੋਰਾਂ ਨੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਬੀਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤੀ;1972 ਵਿੱਚ ਬਨਸ਼ਾਹ ਰਿਪੋਰਟ ਵਿੱਚ ਰਿਐਕਟਿਵ ਇੰਵੇਪੋਰੇਸ਼ਨ ਪਲੇਟਿੰਗ (ARE) ਟੈਕਨਾਲੋਜੀ ਵੱਲ ਇਸ਼ਾਰਾ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, ਜਦੋਂ ਸੁਪਰ-ਹਾਰਡ ਫਿਲਮ ਕਿਸਮਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ TiC ਅਤੇ TiN ਦਾ ਉਤਪਾਦਨ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ;1972 ਵਿੱਚ ਵੀ, ਸਮਿਥ ਅਤੇ ਮੌਲੀ ਨੇ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਖੋਖਲੇ ਕੈਥੋਡ ਤਕਨਾਲੋਜੀ ਨੂੰ ਅਪਣਾਇਆ।1980 ਦੇ ਦਹਾਕੇ ਤੱਕ, ਚੀਨ ਵਿੱਚ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਆਖਰਕਾਰ ਉਦਯੋਗਿਕ ਉਪਯੋਗ ਦੇ ਪੱਧਰ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚ ਗਈ ਸੀ, ਅਤੇ ਪਰਤ ਦੀਆਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਵੈਕਿਊਮ ਮਲਟੀ-ਆਰਕ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਅਤੇ ਆਰਕ-ਡਿਸਚਾਰਜ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਲਗਾਤਾਰ ਪ੍ਰਗਟ ਹੋਈਆਂ ਸਨ।
ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀ ਪੂਰੀ ਕਾਰਜ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਇਸ ਪ੍ਰਕਾਰ ਹੈ: ਪਹਿਲਾਂ,ਪੰਪਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ, ਅਤੇ ਫਿਰਉਡੀਕ ਕਰੋਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ 4X10 ⁻ ³ Paਜਾਂ ਬਿਹਤਰ, ਉੱਚ ਵੋਲਟੇਜ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਨੂੰ ਜੋੜਨਾ ਅਤੇ ਘੱਟ ਵੋਲਟੇਜ ਡਿਸਚਾਰਜ ਗੈਸ ਦੇ ਘੱਟ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਭਾਫ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਬਣਾਉਣਾ ਜ਼ਰੂਰੀ ਹੈ।ਕੈਥੋਡ ਦਾ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨੂੰ 5000V DC ਨੈਗੇਟਿਵ ਹਾਈ ਵੋਲਟੇਜ ਨਾਲ ਕਨੈਕਟ ਕਰੋ।ਨੈਗੇਟਿਵ ਗਲੋ ਏਰੀਏ ਦੇ ਨੇੜੇ ਇਨਰਟ ਗੈਸ ਆਇਨ ਉਤਪੰਨ ਹੁੰਦੇ ਹਨ।ਉਹ ਕੈਥੋਡ ਹਨੇਰੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ।ਇਹ ਇੱਕ ਸਫਾਈ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਵੋ।ਬੰਬਾਰੀ ਹੀਟਿੰਗ ਦੇ ਪ੍ਰਭਾਵ ਦੁਆਰਾ, ਕੁਝ ਪਲੇਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ ਭਾਫ਼ ਬਣ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਖੇਤਰ ਪ੍ਰੋਟੋਨਾਂ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਅੜਿੱਕੇ ਗੈਸ ਆਇਨਾਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉਹਨਾਂ ਦਾ ਇੱਕ ਛੋਟਾ ਜਿਹਾ ਹਿੱਸਾ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਉੱਚ ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਹ ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਆਇਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਨਗੇ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਕੁਝ ਹੱਦ ਤੱਕ ਸੁਧਾਰ ਕਰਨਗੇ।
ਵੈਕਿਊਮ ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਇਹ ਹੈ: ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ, ਗੈਸ ਡਿਸਚਾਰਜ ਵਰਤਾਰੇ ਜਾਂ ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥ ਦੇ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹਿੱਸੇ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੇ ਹੋਏ, ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥ ਆਇਨਾਂ ਜਾਂ ਗੈਸ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਦੇ ਅਧੀਨ, ਇਹਨਾਂ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਜਾਂ ਉਹਨਾਂ ਦੇ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆਕਰਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਤੇ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨਾ। ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ.ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗਮਸ਼ੀਨਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਟੈਕਨਾਲੋਜੀ ਅਤੇ ਗੈਸ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਨੂੰ ਜੋੜਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਨਾ ਸਿਰਫ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਸਗੋਂ ਫਿਲਮ ਦੀ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਰੇਂਜ ਨੂੰ ਵੀ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ।ਇਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੇ ਫਾਇਦੇ ਮਜ਼ਬੂਤ ਵਿਭਿੰਨਤਾ, ਚੰਗੀ ਫਿਲਮ ਅਡੈਸ਼ਨ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਹਨ।ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦਾ ਸਿਧਾਂਤ ਸਭ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ DM Mattox ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਸਤਾਵਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ।ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਦੀਆਂ ਕਈ ਕਿਸਮਾਂ ਹਨ.ਸਭ ਤੋਂ ਆਮ ਕਿਸਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਹੀਟਿੰਗ ਹੈ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਹੀਟਿੰਗ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਬੀਮ ਹੀਟਿੰਗ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਨ ਬੀਮ ਹੀਟਿੰਗ, ਉੱਚ-ਆਵਿਰਤੀ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਹੀਟਿੰਗ ਅਤੇ ਹੋਰ ਹੀਟਿੰਗ ਵਿਧੀਆਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ।
ਪੋਸਟ ਟਾਈਮ: ਫਰਵਰੀ-14-2023