ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀ

ਫਿਲਮਾਂ ਨੂੰ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਿਧੀ ਦੀ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦਰ ਹੈ।ਸਪਟਰਿੰਗ ਵਿਧੀ ਦੀ ਮੁੱਖ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾ ਉਪਲਬਧ ਫਿਲਮ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਿਸ਼ਾਲ ਸ਼੍ਰੇਣੀ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੀ ਚੰਗੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਹੈ, ਪਰ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੀ ਦਰ ਘੱਟ ਹੈ।ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਇੱਕ ਵਿਧੀ ਹੈ ਜੋ ਇਹਨਾਂ ਦੋ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦੀ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਸਿਧਾਂਤ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਦੀਆਂ ਸਥਿਤੀਆਂ
ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਸਿਧਾਂਤ ਨੂੰ ਤਸਵੀਰ ਵਿੱਚ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ।ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ 10-4 Pa ਤੋਂ ਘੱਟ ਦਬਾਅ 'ਤੇ ਪੰਪ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫਿਰ 0.1~1 Pa ਦੇ ਦਬਾਅ 'ਤੇ ਅੜਿੱਕਾ ਗੈਸ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਆਰਗਨ) ਨਾਲ ਭਰਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ 5 kV ਤੱਕ ਦੀ ਨਕਾਰਾਤਮਕ DC ਵੋਲਟੇਜ ਲਾਗੂ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, a ਘੱਟ ਦਬਾਅ ਵਾਲਾ ਗੈਸ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜ਼ੋਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਅਤੇ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਸਥਾਪਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ।ਅੜਿੱਕੇ ਗੈਸ ਆਇਨ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੁਆਰਾ ਤੇਜ਼ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਤਰ੍ਹਾਂ ਵਰਕਪੀਸ ਦੀ ਸਤਹ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਦੇ ਹਨ।ਇਸ ਸਫ਼ਾਈ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪੂਰੀ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਪਰਤ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਿੱਚ ਲੇਪ ਕੀਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਨਾਲ ਸ਼ੁਰੂ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।ਭਾਫ਼ ਵਾਲੇ ਵਾਸ਼ਪ ਕਣ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਜ਼ੋਨ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਵੱਖ ਕੀਤੇ ਅੜਿੱਕੇ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਅਤੇ ਕੁਝ ਭਾਫ਼ ਦੇ ਕਣ ਵੱਖ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਪ੍ਰਵੇਗ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵਰਕਪੀਸ ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਸਤਹ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ।ਆਇਨ ਪਲੇਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਦਾ ਨਾ ਸਿਰਫ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਬਲਕਿ ਸਪਟਰਿੰਗ ਵੀ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸਲਈ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਉਦੋਂ ਹੀ ਬਣਾਈ ਜਾ ਸਕਦੀ ਹੈ ਜਦੋਂ ਜਮ੍ਹਾ ਪ੍ਰਭਾਵ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਤੋਂ ਵੱਧ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਬਸਟਰੇਟ ਹਮੇਸ਼ਾ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਆਇਨਾਂ ਨਾਲ ਬੰਬਾਰੀ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਬਹੁਤ ਸਾਫ਼ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਰਤ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਬਹੁਤ ਸਾਰੇ ਫਾਇਦੇ ਹਨ।

(1) ਮਜਬੂਤ ਅਡਿਸ਼ਨ, ਕੋਟਿੰਗ ਪਰਤ ਆਸਾਨੀ ਨਾਲ ਛਿੱਲ ਨਹੀਂ ਪਾਉਂਦੀ।
(a) ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿੱਚ, ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਉਤਪੰਨ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਗਿਣਤੀ ਨੂੰ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇੱਕ ਕੈਥੋਡਿਕ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪ੍ਰਭਾਵ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਗੈਸ ਅਤੇ ਤੇਲ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਸੋਜ਼ਸ਼ ਨੂੰ ਸਪਟਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ ਸ਼ੁੱਧ ਕਰਨ ਲਈ ਜਦੋਂ ਤੱਕ ਸਾਰੀ ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪੂਰੀ ਨਹੀਂ ਹੋ ਜਾਂਦੀ.
(b) ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਸ਼ੁਰੂਆਤੀ ਪੜਾਅ 'ਤੇ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਅਤੇ ਡਿਪੋਜ਼ਿਸ਼ਨ ਇਕੱਠੇ ਹੁੰਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਫਿਲਮ ਬੇਸ ਦੇ ਇੰਟਰਫੇਸ ਜਾਂ ਫਿਲਮ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਬੇਸ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਮਿਸ਼ਰਣ 'ਤੇ ਕੰਪੋਨੈਂਟਸ ਦੀ ਇੱਕ ਪਰਿਵਰਤਨ ਪਰਤ ਬਣਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਜਿਸਨੂੰ "ਸੂਡੋ-ਡਿਫਿਊਜ਼ਨ ਲੇਅਰ" ਕਿਹਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਫਿਲਮ ਦੇ ਅਨੁਕੂਲਨ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਸੁਧਾਰ ਸਕਦਾ ਹੈ।
(2) ਚੰਗੀ ਰੈਪ-ਅਰਾਊਂਡ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ।ਇੱਕ ਕਾਰਨ ਇਹ ਹੈ ਕਿ ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ ਉੱਚ ਦਬਾਅ ਹੇਠ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ਡ ਹੁੰਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤੱਕ ਪਹੁੰਚਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਕਈ ਵਾਰ ਗੈਸ ਦੇ ਅਣੂਆਂ ਨਾਲ ਟਕਰਾਉਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਜੋ ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਆਇਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਦੁਆਲੇ ਖਿੰਡੇ ਜਾ ਸਕਣ।ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, ਆਇਨਾਈਜ਼ਡ ਪਰਤ ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਪਰਮਾਣੂ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੀ ਕਿਰਿਆ ਦੇ ਅਧੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਇਸਲਈ ਸਾਰਾ ਘਟਾਓਣਾ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਨਾਲ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਪਰ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਪਰਤ ਇਸ ਪ੍ਰਭਾਵ ਨੂੰ ਪ੍ਰਾਪਤ ਨਹੀਂ ਕਰ ਸਕਦੀ।
(3) ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਉੱਚ ਗੁਣਵੱਤਾ ਸਕਾਰਾਤਮਕ ਆਇਨਾਂ ਦੇ ਨਾਲ ਜਮ੍ਹਾ ਫਿਲਮ ਦੇ ਨਿਰੰਤਰ ਬੰਬਾਰੀ ਦੇ ਕਾਰਨ ਸੰਘਣਤਾ ਦੇ ਛਿੱਟੇ ਦੇ ਕਾਰਨ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕੋਟਿੰਗ ਪਰਤ ਦੀ ਘਣਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਕਰਦੀ ਹੈ।
(4) ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਦੀ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ਾਲ ਚੋਣ ਨੂੰ ਧਾਤੂ ਜਾਂ ਗੈਰ-ਧਾਤੂ ਸਮੱਗਰੀ 'ਤੇ ਕੋਟ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
(5) ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ (CVD) ਦੀ ਤੁਲਨਾ ਵਿੱਚ, ਇਸਦਾ ਘੱਟ ਸਬਸਟਰੇਟ ਤਾਪਮਾਨ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 500°C ਤੋਂ ਘੱਟ, ਪਰ ਇਸਦੀ ਅਡੋਲਤਾ ਸ਼ਕਤੀ ਪੂਰੀ ਤਰ੍ਹਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਨ ਵਾਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਨਾਲ ਤੁਲਨਾਯੋਗ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
(6) ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣ ਦੀ ਦਰ, ਤੇਜ਼ ਫਿਲਮ ਦਾ ਗਠਨ, ਅਤੇ ਫਿਲਮਾਂ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੈਨੋਮੀਟਰਾਂ ਤੋਂ ਮਾਈਕ੍ਰੋਨ ਤੱਕ ਕੋਟਿੰਗ ਕਰ ਸਕਦੀ ਹੈ।

ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਹਨ: ਫਿਲਮ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਨੂੰ ਬਿਲਕੁਲ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ;ਜਦੋਂ ਵਧੀਆ ਪਰਤ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ ਤਾਂ ਨੁਕਸ ਦੀ ਇਕਾਗਰਤਾ ਉੱਚ ਹੁੰਦੀ ਹੈ;ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਗੈਸਾਂ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਦਾਖਲ ਹੋਣਗੀਆਂ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸਤਹ ਦੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਬਦਲ ਜਾਣਗੀਆਂ।ਕੁਝ ਮਾਮਲਿਆਂ ਵਿੱਚ, ਕੈਵਿਟੀਜ਼ ਅਤੇ ਨਿਊਕਲੀਅਸ (1 nm ਤੋਂ ਘੱਟ) ਵੀ ਬਣਦੇ ਹਨ।

ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣ ਦੀ ਦਰ ਲਈ, ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਸ਼ਪੀਕਰਨ ਵਿਧੀ ਨਾਲ ਤੁਲਨਾਯੋਗ ਹੈ।ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਲਈ, ਆਇਨ ਕੋਟਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਬਣਾਈਆਂ ਗਈਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਦੇ ਨੇੜੇ ਜਾਂ ਬਿਹਤਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।