HFCVD0606

Komora do powlekania próżniowego urządzenia do chemicznego osadzania z fazy gazowej przyjmuje niezależną dwuwarstwową strukturę chłodzącą wodą, która jest wydajna i jednolita w chłodzeniu oraz ma bezpieczną i stabilną strukturę.Sprzęt został zaprojektowany z podwójnymi drzwiami, wieloma oknami obserwacyjnymi i wieloma interfejsami rozszerzeń, co jest wygodne do zewnętrznego podłączenia pomocniczych urządzeń peryferyjnych, takich jak pomiar temperatury w podczerwieni, analiza widmowa, monitorowanie wideo i termopara.Zaawansowana koncepcja projektowa sprawia, że ​​codzienny przegląd i konserwacja, zmiana konfiguracji i modernizacja sprzętu są łatwe i proste oraz skutecznie zmniejszają koszty użytkowania i modernizacji.

Cechy wyposażenia:

1. Komponenty inflacyjne sprzętu obejmują głównie przepływomierz masowy, zawór elektromagnetyczny i zbiornik mieszania gazu, które zapewniają dokładną kontrolę przepływu gazu procesowego, równomierne mieszanie i bezpieczną izolację różnych gazów oraz mogą wybierać elementy systemu gazowego do użytku źródła ciekłego gazu, ułatwiają spersonalizowany wybór szerokiej gamy źródeł ciekłego węgla oraz bezpieczne stosowanie syntetycznych przewodzących diamentów i płynnych źródeł boru elektrod.
2. Zespół odsysania powietrza jest wyposażony w cichą i wydajną rotacyjną łopatkową pompę próżniową oraz system pompy turbomolekularnej, który może szybko sprostać środowisku o wysokiej próżni.Kompozytowy miernik próżni z miernikiem rezystancji i miernikiem jonizacji służy do pomiaru próżni, a także pojemnościowy system miernika folii, który może mierzyć ciśnienie różnych gazów procesowych w szerokim zakresie.Ciśnienie osadzania jest w pełni automatycznie kontrolowane przez precyzyjny proporcjonalny zawór sterujący.
3. Element wody chłodzącej jest wyposażony w wielokanałowy pomiar ciśnienia wody, przepływu, temperatury i automatyczne monitorowanie oprogramowania.Różne komponenty chłodzące są od siebie niezależne, co jest wygodne do szybkiej diagnozy usterek.Wszystkie gałęzie posiadają niezależne wyłączniki zaworowe, co jest bezpieczne i wydajne.
4. Elementy sterowania elektrycznego przyjmują wielkoformatowy ekran LCD interfejsu człowiek-maszyna i współpracują z w pełni automatycznym sterowaniem PLC, aby ułatwić edycję i import formuły procesu.Krzywa graficzna przedstawia wizualnie zmiany i wartości różnych parametrów, a parametry sprzętu i procesu są automatycznie rejestrowane i archiwizowane w celu ułatwienia śledzenia problemów i analizy statystycznej danych.
5. Stojak na obrabiany przedmiot jest wyposażony w serwomotor do sterowania podnoszeniem i opuszczaniem stołu z podłożem.Do wyboru stół z grafitowym lub czerwonym podłożem miedzianym.Temperaturę mierzy się termoparą.
6. Elementy regału mogą być zaprojektowane jako całość lub osobno zgodnie z wymaganiami klienta, aby spełnić specjalne wymagania klientów dotyczące obsługi.
7. Elementy płyty uszczelniającej są piękne i eleganckie.Płyty uszczelniające w różnych obszarach modułów funkcjonalnych urządzenia można szybko zdemontować lub niezależnie otwierać i zamykać, co jest bardzo wygodne w użyciu.

Sprzęt CVD z gorącym włóknem nadaje się do osadzania materiałów diamentowych, w tym powłok cienkowarstwowych, samonośnych grubych warstw, diamentów mikrokrystalicznych i nanokrystalicznych, diamentów przewodzących itp. Stosowany jest głównie do odpornej na zużycie powłoki ochronnej narzędzi skrawających z węglika spiekanego, materiałów półprzewodnikowych takich jak krzem i węglik krzemu, powłoki rozpraszające ciepło urządzeń, przewodząca elektroda diamentowa domieszkowana borem, ozonowa dezynfekcja wody elektrolitycznej czy oczyszczanie ścieków.