1) Cele cylindryczne mają wyższy stopień wykorzystania niż cele płaskie.W procesie powlekania, niezależnie od tego, czy jest to obrotowy cel rozpylania magnetycznego, czy obrotowy cylindryczny cel napylania rurowego, wszystkie części powierzchni rury docelowej w sposób ciągły przechodzą przez obszar rozpylania generowany przed magnesem trwałym, aby otrzymać rozpylanie katodowe, a cel może być równomiernie napylany, a wskaźnik wykorzystania celu jest wysoki.Stopień wykorzystania materiałów docelowych wynosi około 80% ~ 90%.
2) Cylindryczne cele nie będą łatwe do wytworzenia „zatrucia celu”.Podczas procesu powlekania powierzchnia rury docelowej jest zawsze napylana i trawiona przez jony, a gromadzenie grubych tlenków i innych warstw izolacyjnych na powierzchni nie jest łatwe, a także nie jest łatwo wytworzyć „zatrucie celu”.
3) Struktura cylindrycznego celu rozpylania typu obrotowego jest prosta i łatwa w instalacji.
4) Cylindryczny materiał rury docelowej ma różne typy.planarny cel z metalowym celem bezpośrednie chłodzenie wodą, a niektóre nie mogą być przetwarzane i formowane cylindryczne cele, takie jak cel In2-SnO2 itp. z materiałem proszkowym do prasowania izostatycznego na gorąco w celu uzyskania celów podobnych do płytek, ponieważ rozmiar nie może być wykonany duże i kruche, dlatego konieczne jest użycie metody lutowania twardego i miedzianej płyty tylnej w celu zintegrowania, a następnie zainstalowania na docelowej podstawie.Oprócz rur metalowych, tarcze kolumnowe mogą być również natryskiwane na powierzchnię rur ze stali nierdzewnej różnymi materiałami, które wymagają powlekania, takimi jak Si, Cr itp.
Obecnie wzrasta udział celów cylindrycznych do powlekania w produkcji przemysłowej.Cylindryczne cele są stosowane nie tylko w pionowej maszynie do powlekania, ale także w maszynie do powlekania z rolki na rolkę.W ostatnich latach płaskie cele bliźniacze są stopniowo zastępowane przez bliźniacze cele cylindryczne.
——Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology, aproducent maszyn do powlekania optycznego.
Czas postu: 11 maja 2023 r