① Dobra kontrola i powtarzalność grubości folii
To, czy grubość powłoki może być kontrolowana przy ustalonej z góry wartości, nazywa się sterowalnością grubości powłoki.Wymaganą grubość powłoki można powtarzać wiele razy, co nazywa się powtarzalnością grubości powłoki. Ponieważ prąd rozładowania i prąd docelowy powlekania próżniowego mogą być kontrolowane oddzielnie.Dlatego grubość napylanej warstwy jest kontrolowana, a warstewka o określonej grubości może być niezawodnie osadzona.Ponadto napylanie katodowe pozwala uzyskać warstwę o jednolitej grubości na dużej powierzchni.
② Silna przyczepność między folią a podłożem
Energia rozpylonych atomów jest o 1-2 rzędy wielkości większa niż atomów odparowanych.Konwersja energii wysokoenergetycznych napylonych atomów osadzonych na podłożu jest znacznie wyższa niż w przypadku odparowanych atomów, co generuje większe ciepło i zwiększa adhezję między napylonymi atomami a podłożem.Ponadto niektóre wysokoenergetyczne rozpylane atomy wytwarzają różne stopnie wtrysku, tworząc warstwę pseudodyfuzji na podłożu.Ponadto podłoże jest zawsze czyszczone i aktywowane w obszarze plazmy podczas procesu tworzenia filmu, który usuwa rozpylane atomy o słabej przyczepności oraz oczyszcza i aktywuje powierzchnię podłoża.Dlatego napylona folia ma silną przyczepność do podłoża.
③ Można przygotować nowy film materiałowy inny niż docelowy
Jeśli podczas napylania zostanie wprowadzony gaz reaktywny w celu wywołania reakcji z tarczą, można uzyskać nową warstwę materiału, całkowicie odmienną od tarczy.Na przykład krzem jest używany jako tarcza do napylania, a tlen i argon są wprowadzane do komory próżniowej razem.Po napyleniu katodowym można otrzymać folię izolacyjną SiOz.Używając tytanu jako celu do napylania, azot i argon są wprowadzane razem do komory próżniowej, a po napylaniu można uzyskać warstwę podobną do złota fazy TiN.
④ Wysoka czystość i dobra jakość filmu
Ponieważ w urządzeniu do przygotowywania warstewki do napylania katodowego nie ma elementu tygla, składniki materiału podgrzewacza tygla nie będą mieszane w warstwie warstewki napylanej katodowo.Wady powlekania przez napylanie katodowe polegają na tym, że prędkość tworzenia filmu jest mniejsza niż w przypadku powlekania przez odparowanie, temperatura podłoża jest wyższa, łatwo ulega wpływowi gazu zanieczyszczającego, a struktura urządzenia jest bardziej złożona.
Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua, producentasprzęt do powlekania próżniowego
Czas postu: 09-03-2023