Witamy w Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
pojedynczy_baner

Wspólne cechy technologii powlekania jonowego ulepszonego wyładowania jarzeniowego

Źródło artykułu: próżnia Zhenhua
Czytaj:10
Opublikowano:23-05-12

1. Odchylenie przedmiotu obrabianego jest niskie

Dzięki dodaniu urządzenia zwiększającego szybkość jonizacji gęstość prądu rozładowania zostaje zwiększona, a napięcie polaryzacji obniżone do 0,5 ~ 1 kV.

22ead8c2989dffc0afc4f782828e370

Rozpylanie wsteczne spowodowane nadmiernym bombardowaniem wysokoenergetycznymi jonami i efekt uszkodzeń powierzchni przedmiotu obrabianego są zmniejszone.

2. Zwiększona gęstość plazmy

Dodano różne środki promujące jonizację kolizyjną, a szybkość jonizacji metali wzrosła z 3% do ponad 15%.W komorze powlekania zwiększa się gęstość jonów brody i wysokoenergetycznych atomów obojętnych, jonów azotu, wysokoenergetycznych atomów aktywnych i grup aktywnych, co sprzyja reakcji tworzenia związków.Powyższe różne technologie powlekania jonowego ulepszonego wyładowaniami jarzeniowymi umożliwiły uzyskanie twardych warstw TN przez osadzanie reakcyjne przy wyższych gęstościach plazmy, ale ponieważ należą one do typu wyładowań jarzeniowych, gęstość prądu wyładowania nie jest wystarczająco wysoka (nadal poziom mA/cm2 ), a ogólna gęstość plazmy nie jest wystarczająco wysoka, a proces powlekania związkami reakcyjnymi jest trudny.

3. Zakres powlekania punktowego źródła parowania jest mały

Różne ulepszone technologie powlekania jonowego wykorzystują źródła parowania wiązki elektronów i gantu jako punktowe źródło parowania, które jest ograniczone do pewnego przedziału powyżej gantu w celu osadzania reakcji, więc wydajność jest niska, proces jest trudny i trudny do uprzemysłowienia.

4. Elektroniczne działanie wysokiego ciśnienia pistoletu

Napięcie działa elektronowego wynosi 6 ~ 30 kV, a napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego wynosi 0,5 ~ 3 kV, co należy do operacji wysokiego napięcia i wiąże się z pewnymi zagrożeniami dla bezpieczeństwa.

——Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology, aproducent maszyn do powlekania optycznego.


Czas postu: 12-05-2023