Proces bezpośredniej polimeryzacji plazmowej

Proces bezpośredniej polimeryzacji plazmowej

Proces polimeryzacji plazmowej jest stosunkowo prosty zarówno w przypadku sprzętu do polimeryzacji elektrodą wewnętrzną, jak i sprzętu do polimeryzacji elektrodą zewnętrzną, ale dobór parametrów jest ważniejszy w polimeryzacji plazmowej, ponieważ parametry mają większy wpływ na strukturę i wydajność filmów polimerowych podczas polimeryzacji plazmowej.

Etapy operacji bezpośredniej polimeryzacji plazmowej są następujące:

(1) Odkurzanie

Próżnia tła polimeryzacji w warunkach próżni powinna być pompowana do 1,3×10-1Pa.W przypadku reakcji polimeryzacji, które wymagają specjalnych wymagań w zakresie kontrolowania zawartości tlenu lub azotu, wymagania dotyczące próżni tła są jeszcze wyższe.

(2) Monomer reakcji ładunku lub gaz mieszany gazu nośnego i monomeru

Stopień próżni wynosi 13-130Pa.W przypadku wymagającej pracy polimeryzacji plazmowej należy wybrać odpowiedni tryb kontroli przepływu i natężenie przepływu, zwykle 10,100 ml/min.W osoczu cząsteczki monomeru są jonizowane i dysocjowane przez bombardowanie energetycznymi cząstkami, w wyniku czego powstają aktywne cząstki, takie jak jony i aktywne geny.Cząsteczki aktywne aktywowane przez plazmę mogą ulegać polimeryzacji plazmowej na granicy fazy gazowej i stałej.Monomer jest źródłem prekursora polimeryzacji plazmowej, a wejściowy gaz reakcyjny i monomer muszą mieć określoną czystość.

(3) Wybór źródła zasilania wzbudzenia

Plazma może być generowana przy użyciu źródeł prądu stałego, wysokiej częstotliwości, RF lub mikrofal, aby zapewnić środowisko plazmy do polimeryzacji.Dobór zasilania jest określany na podstawie wymagań dotyczących struktury i parametrów polimeru.

(4) Wybór trybu rozładowania

W przypadku wymagań dotyczących polimerów polimeryzacja plazmowa może wybrać dwa tryby wyładowania: wyładowanie ciągłe lub wyładowanie impulsowe.

(5) Dobór parametrów rozładowania

Podczas przeprowadzania polimeryzacji plazmowej należy wziąć pod uwagę parametry wyładowań na podstawie parametrów plazmy, właściwości polimeru i wymagań strukturalnych.Wielkość zastosowanej mocy podczas polimeryzacji zależy od objętości komory próżniowej, rozmiaru elektrody, szybkości przepływu i struktury monomeru, szybkości polimeryzacji oraz struktury i wydajności polimeru.Na przykład, jeśli objętość komory reakcyjnej wynosi 1 l i zastosowano polimeryzację plazmową RF, moc wyładowania będzie mieścić się w zakresie 10 ~ 30 W.W takich warunkach wytworzona plazma może się agregować, tworząc cienką warstwę na powierzchni przedmiotu obrabianego.Szybkość wzrostu błony polimeryzacji plazmowej zmienia się w zależności od zasilania, rodzaju monomeru i natężenia przepływu oraz warunków procesu.Ogólnie szybkość wzrostu wynosi 100 nm/min ~ 1um/min.

(6) Pomiar parametrów w polimeryzacji plazmowej

Parametry plazmy i parametry procesu, które mają być mierzone w polimeryzacji plazmowej, obejmują: napięcie wyładowania, prąd wyładowania, częstotliwość wyładowania, temperaturę elektronów, gęstość, typ i stężenie grupy reakcyjnej itp.

——Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology, aproducent maszyn do powlekania optycznego.