Proces powlekania jonowego katodą wnękową

Proces powlekania jonowego katodą wnękową jest następujący:

1、Umieść wlewki podbródka w zawale.

2、Montaż przedmiotu obrabianego.

3、Po ewakuacji do 5×10-3Pa, argon jest wprowadzany do komory powlekania ze srebrnej rurki, a poziom podciśnienia wynosi około 100Pa.

4、Włącz zasilanie biasu.

5、Po włączeniu zasilania łuku w celu zapalenia wyładowania katody wnękowej. Wyładowanie jarzeniowe jest generowane w rurce przycisku, napięcie rozładowania wynosi 800 ~ 1000 V, prąd podnoszący łuk wynosi 30 ~ 50 A. Ze względu na efekt świecenia katody wnękowej wyładowanie, wysoka gęstość prądu wyładowania jarzeniowego, wysoka gęstość jonów w srebrnej rurce bombarduje ścianę tuby obserwacyjnej, spraw, aby ściana rury szybko się nagrzała do emisji przepływu elektronów, tryb rozładowania z wyładowania jarzeniowego nagła zmiana na wyładowanie łukowe, napięcie wynosi 40 ~ 70 V, prąd wynosi 80 ~ 300 A. Temperatura srebrnej rurki osiąga powyżej 2300 K, żarowe, emituje strumień elektronów łukowych o dużej gęstości z rury i strzela do anody.

6, Regulacja poziomu próżni. Poziom próżni dla wyładowania jarzeniowego z pistoletu z katodą wnękową wynosi około 100 Pa, a stopień próżni powlekania wynosi 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Dlatego po zapaleniu wyładowania łukowego zmniejsz dopływ argonu gaz tak szybko, jak to możliwe, Dostosuj poziom podciśnienia do zakresu odpowiedniego do powlekania.

7, warstwa podstawowa pokryta tytanem. Przepływ elektronów na anodowo zapadnięty metalowy wlewek podbródka, konwersja energii kinetycznej na energię cieplną, odparowanie metalu podbródka przez ogrzewanie, atomy pary docierają do przedmiotu obrabianego, tworząc warstwę tytanu.

8, osadzanie TiN. Gazowy azot jest dostarczany do komory powlekania, gazowy azot i odparowane atomy są jonizowane do jonów azotu i tytanu. Nad tyglem, większe prawdopodobieństwo nieelastycznych zderzeń atomów oparów tytanu z gęstymi strumieniami niskoenergetycznych elektronów, Szybkość dysocjacji metalu wynosi nawet 20% ~ 40%. Jony tytanu z większym prawdopodobieństwem reagują chemicznie z azotem w gazie reakcyjnym. Osadzanie w celu uzyskania warstwy płaszcza z azotku. Pistolet z katodą wnękową jest źródłem parowania, innym źródłem jonizacji. Podczas powlekania należy również wyregulować prąd cewki elektromagnetycznej wokół tygla, Skupić wiązkę elektronów na środku zapadnięcia, W ten sposób zwiększa się gęstość mocy przepływu elektronów.

9、Wyłącz zasilanie. Gdy grubość folii osiągnie określoną grubość, wyłącz zasilanie łuku, zasilanie polaryzacji i dopływ powietrza.