Napylanie magnetronowe w próżni jest szczególnie odpowiednie do powłok reaktywnych.W rzeczywistości proces ten może osadzać cienkie warstwy dowolnych materiałów tlenkowych, węglikowych i azotkowych.Ponadto proces ten jest również szczególnie odpowiedni do osadzania wielowarstwowych struktur filmowych, w tym wzorów optycznych, folii kolorowych, powłok odpornych na zużycie, nanolaminatów, powłok supersieciowych, folii izolacyjnych itp. Już w 1970 r. przykłady osadzania zostały opracowane dla różnych materiałów warstw folii optycznej.Materiały te obejmują przezroczyste materiały przewodzące, półprzewodniki, polimery, tlenki, węgliki i azotki, podczas gdy fluorki są wykorzystywane w procesach takich jak powlekanie wyparne.
Główną zaletą procesu rozpylania magnetronowego jest wykorzystanie reaktywnych lub niereaktywnych procesów powlekania do osadzania warstw tych materiałów oraz dobra kontrola składu warstwy, grubości powłoki, jednorodności grubości powłoki oraz właściwości mechanicznych warstwy.Proces ma następujące cechy.
1, duża szybkość osadzania.Dzięki zastosowaniu szybkich elektrod magnetronowych można uzyskać duży przepływ jonów, skutecznie poprawiając szybkość osadzania i szybkość rozpylania tego procesu powlekania.W porównaniu z innymi procesami powlekania przez napylanie katodowe, napylanie magnetronowe ma wysoką wydajność i wysoką wydajność i jest szeroko stosowane w różnych produkcjach przemysłowych.
2, wysoka wydajność energetyczna.Cel rozpylania magnetronowego na ogół wybiera napięcie w zakresie 200 V-1000 V, zwykle jest to 600 V, ponieważ napięcie 600 V mieści się w najwyższym efektywnym zakresie wydajności energetycznej.
3. Niska energia rozpylania.Napięcie docelowe magnetronu jest przykładane nisko, a pole magnetyczne ogranicza plazmę w pobliżu katody, co zapobiega wyrzucaniu naładowanych cząstek o wyższej energii na podłoże.
4, Niska temperatura podłoża.Anoda może być używana do odprowadzania elektronów generowanych podczas wyładowania, bez potrzeby uzupełniania podłoża, co może skutecznie zmniejszyć bombardowanie elektronami podłoża.Tak więc temperatura podłoża jest niska, co jest bardzo idealne dla niektórych podłoży z tworzyw sztucznych, które nie są bardzo odporne na powlekanie w wysokiej temperaturze.
5, trawienie powierzchni docelowej rozpylania magnetronowego nie jest jednolite.Nierówne wytrawianie powierzchni docelowej rozpylania magnetronowego jest spowodowane nierównym polem magnetycznym celu.Lokalizacja docelowej szybkości trawienia jest większa, więc efektywny stopień wykorzystania celu jest niski (tylko 20-30% wskaźnika wykorzystania).Dlatego, aby poprawić wykorzystanie celu, rozkład pola magnetycznego musi zostać zmieniony w określony sposób lub użycie magnesów poruszających się w katodzie może również poprawić wykorzystanie celu.
6, złożony cel.Może wykonać kompozytową powłokę ze stopu docelowego.Obecnie zastosowanie procesu napylania katodowego kompozytowego magnetronu zostało z powodzeniem naniesione na folię ze stopu Ta-Ti, (Tb-Dy) -Fe i Gb-Co.Złożona struktura celu ma odpowiednio cztery rodzaje: okrągły inkrustowany cel, kwadratowy cel inkrustowany, mały kwadratowy cel inkrustowany i cel inkrustowany sektorem.Wykorzystanie inkrustowanej struktury docelowej sektora jest lepsze.
7. Szeroki zakres zastosowań.Proces rozpylania magnetronowego może osadzać wiele pierwiastków, najczęściej spotykane to: Ag, Au, C, Co, Cu, Fe, Ge, Mo, Nb, Ni, Os, Cr, Pd, Pt, Re, Rh, Si, Ta, Ti , Zr, SiO, AlO, GaAs, U, W, SnO itp.
Napylanie magnetronowe jest jednym z najczęściej stosowanych procesów powlekania w celu uzyskania wysokiej jakości filmów.Dzięki nowej katodzie ma wysokie wykorzystanie celu i wysoką szybkość osadzania.Guangdong Zhenhua Technology proces powlekania próżniowego magnetronowego jest obecnie szeroko stosowany w powlekaniu podłoży o dużej powierzchni.Proces ten jest stosowany nie tylko do osadzania folii jednowarstwowej, ale także do powlekania folii wielowarstwowych, a ponadto jest również stosowany w procesie roll-to-roll do folii opakowaniowych, folii optycznych, laminowania i innych powłok foliowych.
Czas postu: 07-lis-2022