Podczas powlekania przez odparowanie zarodkowanie i wzrost warstwy folii są podstawą różnych technologii powlekania jonowego
1. Zarodkowanie
Intechnologia powlekania przez odparowanie próżniowe, po odparowaniu cząstek warstwy folii ze źródła parowania w postaci atomów, lecą one bezpośrednio do przedmiotu obrabianego w wysokiej próżni i tworzą warstwę filmu poprzez zarodkowanie i wzrost na powierzchni przedmiotu obrabianego.Podczas odparowywania próżniowego energia atomów warstwy filmu uciekających ze źródła parowania wynosi około 0,2eV.Gdy spójność między cząstkami warstwy folii jest większa niż siła wiązania między atomami warstwy folii a przedmiotem obrabianym, tworzą jądro wyspowe.Atom pojedynczej warstwy folii pozostaje na powierzchni przedmiotu obrabianego przez pewien czas, wykonując nieregularny ruch, dyfuzję, migrację lub zderzenie z innymi atomami, tworząc klastry atomowe Liczba atomów w klastrze atomowym osiąga pewną wartość krytyczną, stabilną powstaje jądro, zwane jądrem o jednorodnym kształcie.
gładka i zawiera wiele defektów i stopni, co powoduje różnicę w sile adsorpcji różnych części przedmiotu obrabianego do atomów promieniotwórczych.Energia adsorpcji powierzchni defektu jest większa niż normalnej powierzchni, więc staje się ona centrum aktywnym, co sprzyja zarodkowaniu preferencyjnemu, zwanemu zarodkowaniem heterogenicznym.Gdy siła spójności jest równa sile wiązania lub siła wiązania między atomami membrany a przedmiotem obrabianym jest większa niż siła spójności między atomami membrany, powstaje struktura płytkowa.W technologii powlekania jonowego w większości przypadków powstaje rdzeń wyspowy.
2. Wzrost
Po uformowaniu rdzenia folii rośnie on nadal, wychwytując padające atomy. Wyspy rosną i łączą się ze sobą, tworząc większe półkule, stopniowo tworząc półkulistą warstwę wysp, która rozciąga się na powierzchni przedmiotu obrabianego.
Gdy energia atomowa warstwy folii jest wysoka, może ona wystarczająco dyfundować na powierzchni i może powstać gładka, ciągła warstwa, gdy kolejne nadchodzące klastry atomowe są małe. Jeśli dyfuzja atomów na powierzchni jest słaba, a rozmiar osadzone klastry są duże, istnieją jako duże jądra półwyspowe. Wierzchołek jądra wyspy ma silne zacienienie części wklęsłej, czyli „efekt cienia”. Rzut powierzchni bardziej sprzyja wychwytywaniu kolejnych zdeponowanych atomów i preferencyjny wzrost, skutkujący rosnącym stopniem wklęsłości na powierzchni, z wytworzeniem stożkowych lub kolumnowych kryształów o wystarczającej wielkości.Pomiędzy stożkowymi kryształami tworzą się puste przestrzenie penetrujące, a wartość chropowatości powierzchni wzrasta. Drobną tkankę można uzyskać przy wysokiej próżni, wraz ze spadkiem stopnia próżni mikrostruktura membrany staje się coraz grubsza.
Czas postu: 24-05-2023