Proces powlekania jonowego źródła małego łuku

Proces powlekania jonowego w źródle łuku katodowego jest zasadniczo taki sam, jak w przypadku innych technologii powlekania, a niektóre operacje, takie jak instalowanie przedmiotów obrabianych i odkurzanie, nie są już powtarzane.

1. Bombardowanie detali

Przed powlekaniem do komory powlekania wprowadza się argon pod próżnią 2 x 10-2Pa.

Włącz zasilacz impulsowy z cyklem roboczym 20% i polaryzacją przedmiotu obrabianego 800-1000V.

Gdy zasilanie łuku jest włączone, generowane jest wyładowanie łukowe w zimnym polu, które emituje dużą ilość prądu elektronowego i prądu jonów tytanu ze źródła łuku, tworząc plazmę o dużej gęstości.Jon tytanu przyspiesza jego wtrysk do przedmiotu obrabianego pod ujemnym wysokim ciśnieniem polaryzacji przyłożonym do przedmiotu obrabianego, bombardując i rozpylając resztkowy gaz i zanieczyszczenia zaadsorbowane na powierzchni przedmiotu obrabianego oraz oczyszczając i oczyszczając powierzchnię przedmiotu obrabianego;Jednocześnie gazowy chlor w komorze powlekania jest jonizowany przez elektrony, a jony argonu przyspieszają bombardowanie powierzchni przedmiotu obrabianego.

Dlatego efekt czyszczenia bombardowania jest dobry.Tylko około 1 minuta czyszczenia bombardującego może oczyścić obrabiany przedmiot, co nazywa się „bombardowaniem łukiem głównym”.Ze względu na dużą masę jonów tytanu, jeśli małe źródło łuku jest używane do bombardowania i czyszczenia przedmiotu przez zbyt długi czas, temperatura przedmiotu jest podatna na przegrzanie, a krawędź narzędzia może stać się miękka.W ogólnej produkcji małe źródła łuku są włączane jedno po drugim od góry do dołu, a każde małe źródło łuku ma czas czyszczenia po bombardowaniu wynoszący około 1 minuty.

(1) Tytanowa dolna warstwa powłoki

W celu poprawy adhezji między folią a podłożem, przed nałożeniem powłoki z azotku tytanu zwykle powleka się warstwę podłoża z czystego tytanu.Dostosuj poziom podciśnienia do 5×10-2-3×10-1Pa, dostosuj napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego do 400-500V i dostosuj cykl pracy zasilacza polaryzacji impulsu do 40% ~ 50%.Nadal zapalając małe źródła łuku jedno po drugim, aby wygenerować wyładowanie łukowe w zimnym polu.Ze względu na spadek ujemnego napięcia polaryzacji przedmiotu obrabianego energia jonów tytanu maleje.Po dotarciu do przedmiotu obrabianego efekt rozpylania jest mniejszy niż efekt osadzania, a na przedmiocie obrabianym tworzy się tytanowa warstwa przejściowa, aby poprawić siłę wiązania między warstwą twardej warstwy azotku tytanu a podłożem.Proces ten jest również procesem nagrzewania przedmiotu obrabianego.Kiedy tarcza z czystego tytanu jest rozładowywana, światło w plazmie jest lazurowoniebieskie.

1. Twarda powłoka z miski amoniakalnej

Ustaw stopień podciśnienia na 3×10^-1-5 Pa, dostosuj napięcie polaryzacji przedmiotu obrabianego do 100-200 V i dostosuj cykl pracy zasilacza polaryzacji impulsu do 70% ~ 80%.Po wprowadzeniu azotu tytan jest reakcją kombinowaną z plazmą wyładowania łukowego w celu osadzania twardej warstwy azotku tytanu.W tym momencie światło plazmy w komorze próżniowej jest wiśniowoczerwone.jeśli C₂H₂, o₂itp. wprowadza się TiCN, TiO₂, itp. można uzyskać warstwy folii.

–Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua, aproducent maszyn do powlekania próżniowego