Thesprzęt do powlekania próżniowegoskłada się z wielu precyzyjnych części, które powstają w wielu procesach, takich jak spawanie, szlifowanie, toczenie, struganie, wytaczanie, frezowanie i tak dalej.Z powodu tych prac powierzchnia części sprzętu będzie nieuchronnie zanieczyszczona niektórymi zanieczyszczeniami, takimi jak tłuszcz, brud olejowy, wióry metalowe, topnik spawalniczy, pasta polerska, ślady potu i tak dalej.Zanieczyszczenia te łatwo ulatniają się w warunkach próżni, wpływając w ten sposób na końcową próżnię sprzętu.
Ponadto te zanieczyszczenia próżniowe z obróbki mechanicznej pochłaniają duże ilości gazu w środowisku pod ciśnieniem atmosferycznym, aw stanie próżni te wcześniej zaadsorbowane gazy również zostaną ponownie uwolnione, stając się głównym czynnikiem ograniczającym próżnię graniczną.Z tego powodu zanieczyszczenia muszą zostać usunięte przed montażem części maszyny do powlekania próżniowego.
Podczas użytkowania sprzętu próżniowego zanieczyszczone zostaną również jego elementy.Jednak zanieczyszczenie z tego źródła jest spowodowane głównie warunkami użytkowania i pompą próżniową.
1. Odparowanie włókna wakuometru w warunkach wysokiej temperatury doprowadzi do powstania warstwy na izolatorze ceramicznym, co w pewnym stopniu uszkodzi jego wytrzymałość izolacyjną, a także wpłynie w pewnym stopniu na dokładność jego pomiar;
2. Z powodu odparowania w wysokiej temperaturze na powierzchni w pobliżu żarnika działa elektronowego w próżni utworzy się metalowa warstwa;
3. Z powodu rozpylania przedmiotu obrabianego wewnętrzna ściana sprzętu do trawienia wiązką jonów zostanie zanieczyszczona przez rozpryski;
4. Wewnętrzna ściana urządzenia do powlekania przez odparowanie próżniowe zostanie zanieczyszczona materiałem docelowym do odparowywania;
5. Często używany jest system suszenia próżniowego, a system będzie zanieczyszczony odparowanymi substancjami;
6. Olej pompy dyfuzyjnej i olej pompy mechanicznej w urządzeniach do powlekania próżniowego są również głównym źródłem zanieczyszczeń.Po długiej pracy maszyny do powlekania wewnątrz urządzenia może tworzyć się warstwa oleju.
Podsumowując, sanitacja próżniowa sprzętu obejmuje sprzęt próżniowy, system próżniowy, produkcję procesu próżniowego oraz inne aspekty i powiązania, a także wymagania samego sprzętu do powlekania próżniowego i specjalny proces próżniowy dotyczący warunków użytkowania.Dlatego zanieczyszczenie próżnią jest problemem godnym uwagi, ponieważ te zanieczyszczenia będą miały wpływ na wydajność sprzętu, a uwagę należy zwrócić na regularne lub w dowolnym momencie czyszczenie.
Czas postu: 21-02-2023