Thepowlekanie próżnioweproces maszynowy dzieli się na: powlekanie próżniowe, powlekanie próżniowe i powlekanie próżniowe jonowe.
1, Powłoka z odparowaniem próżniowym
W warunkach próżni spraw, aby materiał odparował, taki jak metal, stop metalu itp., a następnie zdeponuj je na powierzchni podłoża, metoda powlekania przez odparowanie często wykorzystuje ogrzewanie oporowe, a następnie bombardowanie materiałem powłokowym wiązką elektronów, spraw, aby były odparowuje do fazy gazowej, a następnie osadza się na powierzchni podłoża, historycznie osadzanie próżniowe z fazy gazowej jest wcześniejszą technologią stosowaną w metodzie PVD.
2, napylanie powłoki
Gaz jest poddawany wyładowaniu jarzeniowemu w próżni wypełnionej (Ar). W tym momencie atomy argonu (Ar) przekształcają jony w jony azotu (Ar). Jony są przyspieszane przez siłę pola elektrycznego i bombardują katodę, która jest wykonany z materiału powłokowego, cel zostanie rozpylony i osadzony na powierzchni podłoża Jony incydentalne w powlekaniu przez napylanie katodowe, zwykle uzyskiwane przez wyładowanie jarzeniowe, mieszczą się w zakresie od 10-2 Pa do 10 Pa, więc rozpylone cząstki łatwo zderzają się z cząsteczkami gazu w komorze próżniowej podczas lotu w kierunku podłoża, dzięki czemu kierunek ruchu jest losowy, a osadzona folia łatwa do ujednolicenia.
3, powłoka jonowa
W warunkach próżni, w warunkach próżni, zastosowano pewną technikę jonizacji plazmowej, aby częściowo zjonizować atomy materiału powłokowego w jony. W tym samym czasie wytwarzanych jest wiele neutralnych atomów o wysokiej energii, które są ujemnie obciążone na podłożu. są osadzane na powierzchni podłoża pod głębokim ujemnym nastawieniem, tworząc cienką warstwę.
Czas postu: 23-03-2023