Co to jest powłoka źródła parowania oporowego?

Powłoka źródłowa z odparowaniem oporowym jest podstawową metodą powlekania przez odparowanie próżniowe.„Odparowanie” odnosi się do metody przygotowania cienkiej warstwy, w której materiał powłoki jest podgrzewany i odparowywany w komorze próżniowej, tak że atomy lub cząsteczki materiału odparowują i uciekają z powierzchni, tworząc zjawisko przepływu pary, padające na powierzchnię substrat lub substrat, a na koniec skondensowany z wytworzeniem stałej błony.

Tak zwana metoda powlekania źródła parowania oporowego polega na użyciu tantalu, molibdenu, wolframu i innych metali o wysokiej temperaturze topnienia w celu uzyskania odpowiedniego kształtu źródła parowania, które jest obciążone materiałami do odparowania, przepuszcza powietrze, bezpośrednio ogrzewa i odparować odparowane materiały lub umieścić materiały do ​​odparowania w tlenku glinu, tlenku berylu i innych tyglach do pośredniego ogrzewania i odparowania.Jest to metoda odparowywania z ogrzewaniem oporowym.

Themaszyna do powlekania próżniowegoogrzewany i odparowywany przez grzejnik oporowy ma zalety prostej konstrukcji, niskich kosztów i niezawodnego użytkowania.Może być stosowany do powlekania przez naparowanie materiałów o niskiej temperaturze topnienia, zwłaszcza w produkcji masowej o niskich wymaganiach co do jakości powlekania.Do tej pory w produkcji zwierciadeł aluminiowanych stosuje się jeszcze wiele procesów powlekania metodą ogrzewania oporowego i odparowywania.

Wady metody powlekania przez odparowanie źródła parowania rezystancyjnego polegają na tym, że maksymalna temperatura, jaką można osiągnąć przez ogrzewanie, jest ograniczona, a żywotność grzałki jest również krótka.W ostatnich latach, aby poprawić żywotność źródła parowania oporowego, fabryka sprzętu przyjęła przewodzący materiał ceramiczny syntetyzowany przez azotek boru o długiej żywotności jako źródło parowania.Zgodnie z japońskim raportem patentowym, może wykorzystywać materiały składające się z 20% ~ 30% azotku boru i materiałów ogniotrwałych, które można z nim stopić, aby uzyskać źródło parowania (tygiel) i pokryć jego powierzchnię warstwą cyrkonu zawierającą 62% ~ 82%, a reszta to materiały ze stopu cyrkonu i krzemu.