Ta seria urządzeń wykorzystuje tarcze magnetronowe do przekształcania materiałów powłokowych w cząstki o wielkości nanometrów, które osadzają się na powierzchni podłoży, tworząc cienkie warstwy.Zwiniętą folię umieszcza się w komorze próżniowej.Poprzez napędzaną elektrycznie konstrukcję uzwojenia jeden koniec przyjmuje folię, a drugi ją umieszcza.Kontynuuje przechodzenie przez obszar docelowy i odbiera docelowe cząstki, tworząc gęsty film.
Charakterystyka:
1. Tworzenie filmu w niskiej temperaturze.Temperatura ma niewielki wpływ na folię i nie powoduje deformacji.Nadaje się do folii zwojowych PET, PI i innych materiałów podstawowych.
2. Grubość folii można zaprojektować.Cienkie lub grube powłoki można projektować i osadzać poprzez dostosowanie procesu.
3. Projekt wielu lokalizacji docelowych, elastyczny proces.Cała maszyna może być wyposażona w osiem celów, które mogą być używane jako proste cele metalowe lub cele złożone i tlenkowe.Może służyć do przygotowania folii jednowarstwowych o strukturze pojedynczej lub folii wielowarstwowych o strukturze kompozytowej.Proces jest bardzo elastyczny.
Sprzęt może przygotować elektromagnetyczną folię ekranującą, elastyczną powłokę płytki drukowanej, różne folie dielektryczne, wielowarstwową folię przeciwodblaskową AR, folię przeciwodblaskową o wysokiej HR, folię kolorową itp. sprzęt ma bardzo szeroki zakres zastosowań i osadzanie folii jednowarstwowej można uzupełnić jednorazową depozycją filmu.
Sprzęt może przyjmować proste cele metalowe, takie jak Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itp., lub złożone cele, takie jak SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itp.
Sprzęt ma niewielkie rozmiary, zwartą konstrukcję, niewielką powierzchnię, niskie zużycie energii i elastyczność w regulacji.Jest bardzo odpowiedni do badań i rozwoju procesów lub masowej produkcji małych partii.