Sprzęt do powlekania kompozytów do rozpylania magnetronowego i katodowego powlekania wielołukowego jonowego może pracować osobno i jednocześnie;można osadzać i przygotowywać folię z czystego metalu, folię złożoną z metalu lub folię kompozytową;może być pojedynczą warstwą folii i wielowarstwową folią kompozytową.
Jego zalety w następujący sposób:
Nie tylko łączy zalety różnych powłok jonowych i uwzględnia preparację i osadzanie cienkich warstw dla różnych dziedzin zastosowań, ale także pozwala na osadzanie i preparację wielowarstwowych filmów monolitycznych lub wielowarstwowych filmów kompozytowych w tej samej próżni komora do powlekania w jednym czasie.
Zastosowania osadzonych warstw folii są szeroko stosowane, jej technologie występują w różnych formach, typowe są następujące:
(1) Związek nierównowagowego rozpylania magnetronowego i technologii katodowego powlekania jonowego.
Jego urządzenie jest pokazane w następujący sposób.Jest to złożone urządzenie do powlekania z kolumnowym celem magnetronowym i płaską katodową powłoką jonową, które nadaje się zarówno do powlekania narzędziowego, jak i dekoracyjnego powlekania folii.W przypadku powlekania narzędzi katodowa powłoka jonowa jest stosowana najpierw do powlekania warstwy podstawowej, a następnie tarcza magnetronowa kolumny jest używana do osadzania azotku i innych warstw folii w celu uzyskania precyzyjnej obróbki powierzchni narzędzia.
W przypadku powłok dekoracyjnych folie dekoracyjne TiN i ZrN można najpierw osadzać przez powlekanie łukiem katodowym, a następnie domieszkować metalem za pomocą celów magnetronowych, a efekt domieszkowania jest bardzo dobry.
(2) Połączenie dwupłaszczyznowych magnetronów i katodowych technik powlekania łukowego.Urządzenie jest pokazane w następujący sposób.Wykorzystuje zaawansowaną technologię podwójnego celu, gdy dwa bliźniacze cele obok siebie są połączone z zasilaczem o średniej częstotliwości, nie tylko pokonuje docelowe zatrucie rozpylaniem DC, ogniem i innymi wadami;i może osadzać warstwę tlenku Al2O3, SiO2, dzięki czemu odporność na utlenianie powlekanych części wzrosła i poprawiła się.Kolumnowy wielołukowy cel zainstalowany w środku komory próżniowej, materiałem docelowym może być Ti i Zr, nie tylko w celu utrzymania zalet wysokiego współczynnika dysocjacji wielu łuków, szybkości osadzania, ale także może skutecznie zmniejszyć "kropelki" w proces osadzania celu wielołukowego w małej płaszczyźnie, może osadzać i przygotowywać folie metalowe o niskiej porowatości, folie złożone.Jeśli Al i Si są używane jako materiały docelowe dla bliźniaczych planarnych celów magnetronowych zainstalowanych na obrzeżach, można osadzić i przygotować folie metalowo-ceramiczne Al2O3 lub SiO.Ponadto na obrzeżach można zainstalować wiele małych płaszczyzn wielołukowego źródła parowania, a jego materiałem docelowym może być Cr lub Ni, a folie metalowe i wielowarstwowe folie kompozytowe można osadzać i przygotowywać.Dlatego ta technologia powlekania kompozytowego jest technologią powlekania kompozytowego o wielu zastosowaniach.
Czas postu: 08-11-2022