1, cechy powłoki napylanej
W porównaniu z konwencjonalnym powlekaniem przez odparowanie próżniowe, powlekanie przez napylanie ma następujące cechy:
(1) Każda substancja może być rozpylana, zwłaszcza pierwiastki i związki o wysokiej temperaturze topnienia, niskiej prężności pary.Dopóki jest to ciało stałe, czy to metal, półprzewodnik, izolator, związek i mieszanina itp., czy to blok, materiał ziarnisty może być użyty jako materiał docelowy.Ponieważ podczas napylania katodowego materiałów izolacyjnych i stopów, takich jak tlenki, dochodzi do niewielkiego rozkładu i frakcjonowania, można je wykorzystać do przygotowania cienkich warstw i warstw stopów o jednorodnych składnikach podobnych do materiału docelowego, a nawet warstw nadprzewodzących o złożonym składzie.” Ponadto, metodę reaktywnego rozpylania katodowego można również stosować do wytwarzania warstw związków całkowicie odmiennych od materiału docelowego, takich jak tlenki, azotki, węgliki i krzemki.
(2) Dobra przyczepność między napyloną warstwą a podłożem.Ponieważ energia napylanych atomów jest o 1-2 rzędy wielkości większa niż atomów odparowanych, konwersja energii wysokoenergetycznych cząstek osadzonych na podłożu generuje wyższą energię cieplną, co zwiększa adhezję napylonych atomów do podłoża.Część wysokoenergetycznych napylonych atomów zostanie wstrzyknięta w różnym stopniu, tworząc tak zwaną warstwę pseudodyfuzyjną na podłożu, w której napylone atomy i atomy materiału podłoża „mieszają się” ze sobą.Dodatkowo podczas bombardowania rozpylanymi cząstkami podłoże jest zawsze czyszczone i aktywowane w strefie plazmy, która usuwa słabo przylegające wytrącone atomy, oczyszcza i aktywuje powierzchnię podłoża.W rezultacie adhezja naniesionej warstwy folii do podłoża jest znacznie zwiększona.
(3) Wysoka gęstość powlekania przez napylanie katodowe, mniej otworów i wyższa czystość warstwy folii, ponieważ nie ma zanieczyszczeń tygla, co jest nieuniknione w próżniowym osadzeniu z fazy gazowej podczas procesu powlekania przez napylanie katodowe.
(4) Dobra sterowalność i powtarzalność grubości filmu.Ponieważ prąd rozładowania i prąd docelowy można kontrolować oddzielnie podczas powlekania przez napylanie katodowe, grubość warstwy można kontrolować, kontrolując prąd docelowy, a zatem możliwość kontrolowania grubości warstwy i powtarzalność grubości warstwy przez wielokrotne rozpylanie napylania katodowego są dobre , a folia o określonej grubości może być skutecznie powlekana.Ponadto powlekanie przez napylanie katodowe pozwala uzyskać jednolitą grubość powłoki na dużym obszarze.Jednak w przypadku ogólnej technologii napylania katodowego (głównie napylania dipolowego) sprzęt jest skomplikowany i wymaga urządzenia wysokociśnieniowego;prędkość tworzenia filmu podczas osadzania przez napylanie katodowe jest niska, szybkość osadzania przez odparowanie próżniowe wynosi 0,1 ~ 5 nm/min, podczas gdy szybkość napylania katodowego wynosi 0,01 ~ 0,5 nm/min;wzrost temperatury podłoża jest wysoki i podatny na gazy zanieczyszczające itp. Jednak dzięki rozwojowi technologii rozpylania RF i rozpylania magnetronowego osiągnięto duży postęp w osiąganiu szybkiego osadzania przez rozpylanie i obniżaniu temperatury podłoża.Ponadto w ostatnich latach badane są nowe metody napylania katodowego – oparte na planarnym napylaniu magnetronowym – w celu zminimalizowania ciśnienia powietrza rozpylającego do napylania zerowego ciśnienia, w którym ciśnienie gazu wlotowego podczas napylania katodowego będzie równe zeru.
Czas postu: 08-11-2022