Sprzęt do czyszczenia plazmą próżniową przyjmuje zintegrowaną strukturę, wyposażoną w system czyszczenia jonów RF, w pełni automatyczne sterowanie, wygodną obsługę i konserwację.
Generator wysokiej częstotliwości RF może generować plazmę o dużej gęstości, aktywować, wytrawiać i spopielać powierzchnię przedmiotu obrabianego, skutecznie usuwać kurz i tłuszcz z powierzchni produktu, uwalniać naprężenia powierzchniowe i uzyskiwać różne modyfikacje na powierzchni przedmiotu obrabianego.
Ma zastosowanie do gumy, szkła, ceramiki, metalu i innych produktów i jest stosowany do mikroelektroniki, LCD, LED, LCM, płytki drukowanej, opakowań półprzewodnikowych, urządzeń medycznych, eksperymentów z naukami przyrodniczymi i innych dziedzin.